[实用新型]用于面板电路制作的雷射直写装置

权利要求书

1.一种用于面板电路制作的雷射直写装置，用以加工一面板，其特征在于，该面板包含一基板及位于该基板上的至少一金属薄膜区域，该雷射直写装置包含：

一雷射模块，包含：

一雷射光源，用以产生一第一激光束；

一监控单元，用以接收该第一激光束，调校该第一激光束而输出一第二激光束；及

一输出单元，连接于该监控单元，接收该第二激光束，聚焦该第二激光束后输出一第三激光束；

一运动平台，承载该雷射模块，用以沿一第一方向及垂直于该第一方向的一第二方向移动该雷射模块；及

一加工平台，位于该雷射模块下方，承载该面板，使该金属薄膜区域接受该第三激光束聚焦照射直接蚀刻金属部分，该加工平台漫射通过该面板的该第三激光束以避免伤害该基板。

2.根据权利要求1的雷射直写装置，其特征在于，该雷射光源产生的该第一激光束为532nm波长的绿光雷射。

3.根据权利要求1的雷射直写装置，其特征在于，该监控单元包含：

一第一光曲路器，接收该第一激光束，用以将该第一激光束90度位移；

一雷射光闸，接收经该第一光曲路器90度位移的该第一激光束，并使该第一激光束于电源开启时通过；

一第一分光镜，分光通过该雷射光闸的该第一激光束为90度角偏移的一第一反射光束及与原行进方向相同的一第一横向偏移光束；

一光谱仪，接收该第一横向偏移光束，用以分析该第一激光束的光谱；

一雷射功率衰减器，接收该第一反射光束，用以控制该第一反射光束的功率；

一第二分光镜，分光通过该雷射功率衰减器的该第一反射光束为90度角偏移的一第二反射光束及与原行进方向相同的一第二横向偏移光束；

一光功率计，接收该第二反射光束，用以分析该第二反射光束的功率；

一第二光曲路器，用以将该第二横向偏移光束90度位移；

一光束整形器，接收经该第二光曲路器90度位移的该第二横向偏移光束，用以将该第二横向偏移光束的高斯能量分布转为平顶式能量分布；

一准直扩束器，接收经光束整形器的该第二横向偏移光束，用以校准该第二横向偏移光束行进方向及调整该第二横向偏移光束的直径；

一第三光曲路器，用以将经该准直扩束器的该第二横向偏移光束90度位移；

一第三分光镜，分光通过该第三光曲路器的该第二横向偏移光束为90度角偏移的该第二激光束及与原行进方向相同的一第三横向偏移光束；

一第四光曲路器，用以将该第三横向偏移光束90度位移；及

一光束轮廓分析仪，接收该第四光曲路器90度位移的该第三横向偏移光束，用以分析该第三横向偏移光束，当光参数超出预设范围时发出警告。

4.根据权利要求1的雷射直写装置，其中该输出单元包含：

一第四分光镜，接收该监控单元中的该第三分光镜输出的该第二激光束，用以将该第二激光束90度角偏移，沿垂直于该第一方向与该第二方向的一第三方向输出该第二激光束；

一伸缩光束管，其一端连接于该第四分光镜，使由该第四分光镜90度角偏移的该第二激光束通过；

一校正模块，连接于该伸缩光束管的另一端，接收经过该伸缩光束管的该第二激光束，用以聚焦该第二激光束；

一音圈马达，连接于该校正模块上，用以微调该校正模块沿该第三方向移动；

一喷嘴，连接于该校正模块，接收经该校正模块的该第二激光束，输出该第三激光束；及

一对位视觉模块，连接于该第四分光镜的与该伸缩光束管相对侧，用以观测并辅助定位该第三激光束输出的位置。

5.根据权利要求4的雷射直写装置，其特征在于，该校正模块包含：

一线性可调底座，与该伸缩光束管连接；

一光束质量增强器，与该线性可调底座连接，用以圆极化该第二激光束；及

一聚焦镜组，用以聚焦该第二激光束。