[实用新型]一种准分子激光微加工系统的光路系统工作支撑架

权利要求书

1.一种准分子激光微加工系统的光路系统工作支撑架，该支撑架由可固定于光学平台上的钢架构成，其特征在于：该钢架至少有两层结构，高度80cm以上，下层设有与可固定于光学平台螺纹孔的螺丝孔，上层设有光具导轨，且上层凸出于下层，并在凸出处设有通光孔，通光孔上设有将水平光线反射成垂直光线的反射镜。

2.如权利要求1所述的一种准分子激光微加工系统的光路系统工作支撑架，其特征在于：所述钢架由上层槽钢1，中层槽钢2，底层槽钢3及将三层槽钢连接在一起的长螺栓4构成，三层槽钢平行间隔设置，其间隔通过长螺栓中的螺母5的位置调节；其中，中层槽钢2和底层槽钢3长度相同，上层槽钢1比中层槽钢2和底层槽钢3长，在长出的这一部分槽钢中轴线上有一个圆形通光孔6，通光孔6正上方架设反射镜，底层槽钢3中轴线方向上设有一系列方形口8，方形口8的边长大于光学平台台面上相邻两个螺纹孔之间的距离，采用压铁9和螺钉10通过方形口8将底层槽钢3紧压固定于光学平台上。

3.如权利要求2所述的一种准分子激光微加工系统的光路系统工作支撑架，其特征在于：所述光具导轨7采用大理石衬底的光具导轨，并安装在上层槽钢1中。

4.如权利要求2所述的一种准分子激光微加工系统的光路系统工作支撑架，其特征在于：所述长螺栓4采用方头长螺栓，螺栓头的一条边正好与槽钢的一个槽边紧密接触。