[实用新型]一种改进的平面靶材

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于镀膜的平面靶材。 

背景技术

现有的靶材绑定方法是将铜质的靶材背板放置于加热炉上加热至260°，然后按规定尺寸涂上锡金属层，将靶材加热，最后将靶材按规定尺寸放置于靶材背板上，冷却后，一块符合使用要求的平面靶材就绑定成功了。锡金属层的作用就是靶材和靶材背板的粘接剂。这类平面靶材有一个特点，此靶材的一面用真空蒸发镀膜的方法蒸镀一层锡金属层作为粘接层，另一面才是镀膜使用层。该真空镀膜用平面金属靶材的价格昂贵，这导致国内企业的生产成本居高不下。 

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型旨在提供一种能降低成本的改进的平面靶材。 

为实现该技术目的，本实用新型的方案是：一种改进的平面靶材，包括铜质的靶材背板和正方形靶材，其特征在于，所述靶材的表面有通过颗粒间含有锡金属的抛光片软抛磨粘附上的锡金属层，靶材通过所述锡金属层粘接在靶材背板上。 

进口的ITO靶材不带锡层的采购价格为628.8美元/KG，而带锡金属层的采购价格为674美元/KG。之间的差价为45.2美元/KG，按照年产量为350万片规模的生产线所使用的靶材数量为1920KG，那么，使用本方法，每年将可节省成本将达到86784美元(59万RMB)， 大大降低了采购成本。 

附图说明

图1为本实用新型的爆炸图。 

具体实施方式

如图1所示，本实用新型的一种改进的平面靶材，包括铜质的靶材背板1和正方形靶材2，所述靶材的表面有通过颗粒间含有锡金属的抛光片软抛磨粘附上的锡金属层3，靶材2通过所述锡金属层粘接在靶材背板1上。 

因而，在采购的时候订购不经过真空蒸镀锡金属层的金属靶材。采购回来后的靶材在绑定之前要经过软抛磨处理。用角磨机带抛光片，高速旋转中在锡块上使抛光片的颗粒间带有一定的锡金属，然后在坚硬的靶材表面进行软抛磨，这样就会在抛磨过的靶材表面粘附一层锡金属层，此金属层满足了绑定靶材时的附着力的需要，完全可以代替真空蒸发镀膜所蒸镀的锡金属层的作用。此种抛磨方法并不会破坏原有金属靶材的各种尺寸参数，并不影响靶材的使用寿命。