[实用新型]紧锁机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种板类部件的固定装置，尤其涉及一种适用于将腔门紧锁于腔体壁上且能解除锁接的紧锁机构。

背景技术

在半导体器件或平板显示器件的制造工艺中，为了保证较高的清洁度，常常需要在真空设备中完成各种工艺，因此用于制造半导体器件或平板显示器件的设备，一般被设计成将基板输送到真空设备中并利用等离子体对基板执行所需的工艺，以OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)的真空蒸镀为例，将加工好的基板传输至密封的真空工艺室内，在真空条件下，将真空工艺室内的固体材料加热蒸发，蒸发出来的原子或分子自由地吸附在基板上逐渐形成薄膜，进而形成OLED的各个材料层。

现有的真空加工设备通常包括三种真空腔室，即负载室、传送室及工艺室，负载室用于从外部站台接收将要在设备中进行加工的基板以便装载基板，或用来输出设备中加工完成的基板以便卸载基板；传送室用于在各个腔室之间传送基板；工艺室用来在真空环境下利用等离子体或热能对基板执行所需的工艺，如真空蒸镀或蚀刻工艺等。由于工艺室利用各种加工气体或等离子气体来重复大量工艺，因此，工艺室内的设备易于受损或受污染，从而需要定期更换或维修。因此，工艺室一般设计成由中空结构的腔体和可启闭的腔门密封构成，腔门可以打开以便对工艺室内部进行维护或更换，而在执行工艺步骤时腔门关闭且要能保证工艺室内部的密封性，因此常常在腔门内侧安装密封圈，当腔门关闭时保证腔门与腔体密封，腔门关闭后还需要一固定装置将腔门与腔体进行固定连接，以进一步加强真空工艺室的密封性并保证操作的安全性。

现有的用于将腔门固定于腔体壁上的装置，一般采用头部具有螺纹的旋钮，旋钮的中部具有压纹，在腔门上贯穿开设有与旋钮相对应的安装孔，腔体壁上开设有与安装孔相对应的螺纹孔，用于与旋钮配合连接，腔门关闭时，将旋钮的头部旋入腔体壁上的螺纹孔内使腔门与腔体壁固定，腔门与腔体壁压紧实现真空工艺室的密封；然而，为了保持真空工艺室的密封需要最大限度的旋进压纹旋钮，这样所有的压力都需要由腔门上的密封圈承担，导致密封圈压迫量过大而影响密封效果，同时也缩短了密封圈的使用寿命；需要开启腔门时，需要将旋钮旋出腔体壁上的螺纹孔，这样在腔门开启过程中旋钮在重力的作用下容易脱离腔门上的安装孔，为使用带来诸多不便。

因此，急需一种能分担密封圈压迫量，在腔门开启时能防止脱落且操作简便的锁紧装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种能分担密封圈压迫量，在腔门开启时能防止脱落且操作简便的固定装置。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案为：提供一种紧锁机构，适用于将腔门紧锁于腔体壁上且能解除锁接，其包括手柄及弹簧，所述手柄向外凸伸出凸台，所述凸台向外凸伸出连接杆，所述连接杆的末端开设有螺纹并形成螺纹部，所述凸台开设有环绕所述连接杆的第一环槽，所述弹簧穿设于所述连接杆上且一端安装于所述第一环槽内，所述弹簧的另一端凸伸出所述第一环槽，所述腔门贯穿开设有安装孔，所述安装孔内开设有内螺纹，所述腔体壁正对所述安装孔开设有具有内螺纹的螺纹孔，所述连接杆的螺纹部与所述安装孔螺纹连接，所述凸台与所述腔门的外表面分离地接触。

较佳地，所述腔门的外表面上具有与所述第一环槽相对应的第二环槽，所述第二环槽用于容纳所述弹簧伸出第一环槽的一端，手柄的螺纹部旋入腔体壁上的安装孔内而与腔体壁连接时，手柄的凸台与所述腔门的外表面相抵触，弹簧伸出第一环槽的一端容置于腔门上的第二环槽内并被压缩，弹簧产生的弹力减小手柄的凸台对腔门施加的压力，使腔门与腔体壁保持适合的距离，分担腔门与腔体壁之间的密封圈的压迫量，即保持腔门与腔体壁之间的密封圈具有适合的压迫量，保证腔门与腔体壁之间良好的密封效果，且增长密封圈的使用寿命。

较佳地，所述腔体壁上安装有密封圈，腔门与腔体壁压合时，对密封圈施加压力，使腔门与腔体壁之间保持良好的密封性，保持工艺腔室内部具有良好的真空性。