[实用新型]直流辉光放电清洗电极无效

专利信息
申请号: 201020109740.6 申请日: 2010-02-09
公开(公告)号: CN201620187U 公开(公告)日: 2010-11-03
发明(设计)人: 孙继武 申请(专利权)人: 沈阳慧宇真空技术有限公司
主分类号: C23C14/26 分类号: C23C14/26
代理公司: 沈阳世纪蓝海专利事务所 21232 代理人: 刘东兴
地址: 110042 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 直流 辉光 放电 清洗 电极
【权利要求书】:

1.一种直流辉光放电清洗电极,包括一个电极芯(3),在电极芯(3)外安装有不锈钢套(4)和电极头(2),电极头(2)与不锈钢套(4)焊接成一体,电极头(2)前端连接有屏蔽头(1),其特征在于,在不锈钢套(4)外安装有等静压陶瓷环(5),在等静压陶瓷环(5)外安装电极外壳(8),在电极芯(3)中心设有进水通道(6),在电极芯(3)外圆周上设有回水通道(7),在电极外壳(8)内、电极芯(3)的后端焊接有电极芯第一后堵(15)和与电极芯第一后堵焊接为一体的电极芯第二后堵(16),在电极芯第二后堵(16)上焊接有内波纹管(12),并连接有上电接头(9)。

2.根据权利要求1所述的一种直流辉光放电清洗电极,其特征在于,所述内波纹管(12)与陶瓷封接件(13)焊接成一体,陶瓷封接件(13)外安装有陶瓷绝缘管(14),陶瓷封接件(13)上焊接有进水管(11-1)及进水管接口(11-2)和回水管(10-1)及回水管接口(10-2)。

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