[实用新型]一种离子源引出装置无效

专利信息
申请号: 201020111922.7 申请日: 2010-02-05
公开(公告)号: CN201655740U 公开(公告)日: 2010-11-24
发明(设计)人: 何坚 申请(专利权)人: 厦门大学
主分类号: H01J49/26 分类号: H01J49/26;H01J49/06
代理公司: 厦门南强之路专利事务所 35200 代理人: 刘勇
地址: 361005 *** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 离子源 引出 装置
【权利要求书】:

1.一种离子源引出装置,其特征在于设有可拆式样品靶、射频多级杆、射频多级杆固定座和截取锥;可拆卸式样品靶、射频多级杆和截取锥同轴心线;可拆卸式样品靶正向面对射频多级杆;射频多级杆安装于射频多级杆固定座中,射频多级杆固定座与截取锥连接;截取锥安装在外部离子源腔内,截取锥设有离子出射狭缝和至少1个径向背景气进气孔;离子出射狭缝位于截取锥中心。

2.如权利要求1所述的一种离子源引出装置,其特征在于所述可拆卸式样品靶由进样杆、样品固定座和样品靶压套构成,进样杆的前端嵌入样品固定座的后端,样品靶压套嵌入样品固定座的前端,进样杆、样品固定座和样品靶压套之间可相互拆卸。

3.如权利要求1所述的一种离子源引出装置,其特征在于所述射频多级杆的杆数为2的整数倍。

4.如权利要求3所述的一种离子源引出装置,其特征在于所述整数倍为至少2倍。

5.如权利要求1所述的一种离子源引出装置,其特征在于所述射频多级杆的直径为2~6mm,杆的长度为60~100mm。

6.如权利要求1所述的一种离子源引出装置,其特征在于所述射频多级杆为四级杆时,单根杆的半径与射频多级杆构成的内切圆半径的比例是0.872;所述射频多级杆为六级杆时,单根杆的半径与射频多级杆构成的内切圆半径的比例是0.5375;所述射频多级杆为八级杆时,单根杆的半径与射频多级杆构成的内切圆半径的比例是0.355。

7.如权利要求1所述的一种离子源引出装置,其特征在于所述射频多级杆的供电电源频率为100kHz~5MHz,电压为0~1000V。

8.如权利要求1所述的一种离子源引出装置,其特征在于所述射频多级杆的轴心线是外部激发粒子束聚焦点所在的轴线。

9.如权利要求1所述的一种离子源引出装置,其特征在于所述离子出射狭缝是一个圆形孔,圆形孔的直径为0.1~1mm。

10.如权利要求1所述的一种离子源引出装置,其特征在于所述径向背景气进气孔设有2个,2个径向背景气进气孔对称布置。

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