[实用新型]用于密封扩散炉内石英管的密封装置无效
| 申请号： | 201020114119.9 | 申请日： | 2010-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN201588007U | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | 左凯锋;葛新华;王辉;梁飞 | 申请（专利权）人： | 无锡尚德太阳能电力有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/00 | 分类号： | C30B31/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;孙丽梅 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 密封 扩散 石英管 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于密封扩散炉内石英管的密封装置，包括石英炉门和隔热包，其特征在于，所述石英炉门和隔热包连接为一整体。
2.根据权利要求1所述的用于密封扩散炉内石英管的密封装置，其特征在于，所述石英炉门和隔热包通过高温焊接方式连接为一整体。
3.根据权利要求1所述的用于密封扩散炉内石英管的密封装置，其特征在于，所述石英炉门和隔热包通过粘接方式连接为一整体。
4.根据权利要求1所述的用于密封扩散炉内石英管的密封装置，其特征在于，所述石英炉门和隔热包通过卡接方式连接为一整体。
5.一种扩散炉，包括控制柜、净化台、排废柜、电阻炉柜以及气源柜，其特征在于，所述扩散炉还包括如权利要求1至4任一项所述的扩散炉内石英管的密封装置。
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