[实用新型]光盘托盘装置

说明书

技术领域

本实用新型光盘托盘装置属于光盘制造领域。

背景技术

目前，传统的溅镀设备只能对溅镀对象整体做溅镀，而在光盘制造过程中，需要对光盘溅镀，由于光盘的特性，在内圈以及外圈都需要保证不能被溅镀，就需要专用的光盘溅镀设备，在光盘溅镀设备中，要保证光盘准确的被溅镀，减少配件的消耗，回收贵重金属。

发明内容

本实用新型的目的是为避免现有技术的不足之处，而提供一种光盘专用的，高精确度，能保证光盘准确溅镀的真空环境下的光盘托盘装置。

本实用新型的目的是通过以下措施来达到的，真空环境下的光盘托盘装置包括上盖，短程汽缸，电源盒，冷水进口，冷水出口，靶材，靶材固定座，小光盘罩，底座，光盘固定座，大光盘罩，惰性气体快插构成，在上盖上顶部正中开有一孔，在孔内安装短程汽缸，靶材安装在靶材固定座上，靶材固定座中心有孔，短程汽缸穿过靶材固定座，靶材安装在上盖内，短程汽缸的一端固定有一小光盘罩，上盖的顶部两边分别安装有一冷水进口与冷水出口，短程汽缸侧面安装有一惰性气体快插，在上盖的顶部安装有一电源盒，高压直流电线通过该电源盒与内部相连接，底座中部有孔，光盘固定座固定在底座中间，底座内放有大光盘罩，光盘放入底座上的光盘固定座上，大光盘罩将光盘四周罩住保护，短程气缸推动上盖，短程汽缸上的小光盘罩就会紧紧罩在光盘内圈，这样保证溅镀材料不会附着在底座上，而是附着在光盘表面和大小光盘罩上，便于清洁与更换。

本实用新型的上盖的顶部两边分别安装有一冷水进口与冷水出口，通过冷水进出口可以将整个装置控制在低温的环境中，减少光盘变形。

本实用新型结构简单，保证光盘准确的被溅镀，减少配件的消耗，能回收贵重金属。

附图说明

附图1是本实用新型的结构示意图。

附图2是本实用新型的结构示意图。

附图3是实用新型的立体示意图。

附图4是实用新型的大光盘罩结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

图中：上盖1，短程汽缸2，电源盒3，冷水进口4，冷水出口5，靶材6，靶材固定座7，小光盘罩8，底座9，光盘固定座10，大光盘罩11，惰性气体快插12。

如附图1、附图2、附图3、附图4所示，本实用新型真空环境下的光盘托盘装置包括上盖1，短程汽缸2，电源盒3，冷水进口4，冷水出口5，靶材6，靶材固定座7，小光盘罩8，底座9，光盘固定座10，大光盘罩11，惰性气体快插12构成，在上盖1上顶部正中开有一孔，在孔内安装短程汽缸2，靶材6安装在靶材固定座7上，靶材固定座7中心有孔，短程汽缸穿过靶材固定座，靶材6安装在上盖内，短程汽缸的一端固定有一小光盘罩8，上盖的顶部两边分别安装有一冷水进口4与冷水出口5，通过冷水进出口可以将整个装置控制在低温的环境中，减少光盘变形，短程汽缸侧面安装有一惰性气体快插12，在上盖的顶部安装有一电源盒3，高压直流电线通过该电源盒与内部相连接，底座9中部有孔，光盘固定座10固定在底座中间，底座内放有大光盘罩11，光盘放入底座上的光盘固定座上，大光盘罩11将光盘四周罩住保护，短程气缸推动上盖，短程汽缸上的小光盘罩8就会紧紧罩在光盘内圈，这样保证溅镀材料不会附着在底座上，而是附着在光盘表面和大小光盘罩上，便于清洁与更换。

当光盘放入底座上的光盘固定座上时，被光盘固定座上紧紧卡住，光盘四周都有大光盘罩的保护，当上盖盖上以后通过短程气缸的作用，小光盘罩就会紧紧罩在光盘内圈，不需要溅镀的位置，这样保证溅镀材料不会附着在底座上，而是附着在光盘表面和大小光盘罩上，便于清洁与更换，闭合的上下盖通过底座下面的连接真空泵的孔，将内部抽成真空，上盖上的惰性气体接口连接外部气源将把惰性气体充斥整个托盘装置内部.同时通过上盖上的连接电线，在光盘与靶材之间加以高压直流电，使得金属离子均匀的附着在光盘表面。