[实用新型]一种采用超临界水剥离聚酰亚胺薄膜的系统有效
| 申请号： | 201020125714.2 | 申请日： | 2010-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN201670723U | 公开（公告）日： | 2010-12-15 |
| 发明（设计）人： | 王磊;景玉鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 采用 临界 剥离 聚酰亚胺 薄膜 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种采用超临界水剥离聚酰亚胺薄膜的系统，其特征在于，包括：
用于存放超纯水的去离子水储罐(1)；
连接于去离子水储罐(1)并将去离子水储罐(1)中的超纯水加压到临界压力以上的高压泵(2)；
连接于高压泵(2)出口并将临界状态的超纯水加热到临界温度以上的加热器(3)；
连接于加热器(3)的另一端并控制腔室入口的第一阀门(4)；
连接于第一阀门(4)并延伸入腔室内部将超临界水喷射到涂有PI的硅片上的可动喷嘴(7)；
安装于腔室内部并盛放被腐蚀件的硅片夹盘(9)；
放置于硅片夹盘(9)上的涂有亚胺化后PI薄膜的硅片(8)；
安装于腔室侧壁并将反应中生成的挥发性物质抽走的机械泵(10)；
安装于腔室下壁并开启或关闭排水管路的第二阀门(11)；
连接于第二阀门(11)并将腔室中的冷凝水排出的排水口(12)。
2.根据权利要求1所述的采用超临界水剥离聚酰亚胺薄膜的系统，其特征在于，该系统还包括：
安装于腔室上壁并实时测量可动喷嘴(7)出口温度的温度传感器(5)。
3.根据权利要求1或2所述的采用超临界水剥离聚酰亚胺薄膜的系统，其特征在于，该系统还包括：
安装于腔室上壁并实时测量喷嘴(7)出口压力的压力传感器(6)。
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