[实用新型]真空变温薄膜电阻测试仪无效
| 申请号： | 201020127372.8 | 申请日： | 2010-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN201716370U | 公开（公告）日： | 2011-01-19 |
| 发明（设计）人： | 朱亚彬;魏敏建;王保军;陈志杰;刘依真 | 申请（专利权）人： | 北京交通大学 |
| 主分类号： | G01R27/08 | 分类号： | G01R27/08 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 黄家俊 |
| 地址： | 100044 北京市西*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 薄膜 电阻 测试仪 | ||
1.一种真空变温薄膜电阻测试仪，使用四探针测试金属或半导体薄膜电阻，其特征在于，包括真空系统和加热、温控系统；
所述真空系统包含底座(20)、玻璃罩(15)、空气阀(4)、气压表(6)和机械泵(5)，所述底座(20)边缘突出，呈圆形，其凹陷部分的直径比玻璃罩(15)的外直径略大，设有安全阀；所述机械泵(5)、气压表(6)经由底座(20)孔隙与玻璃罩(15)内部环境相通；
所述加热、温控系统包含载物台(14)、热偶(8)、加热棒(9)和温度控制仪(3)，所述载物台(14)上各有一个加热棒放置孔(17)和热偶放置孔(18)；温度控制仪(3)经由导线通过固定在底座上(20)的密封插头分别与热偶(8)和加热棒(9)相连。
2.如权利要求1所述的测试仪，其特征在于，所述四探针组件分别与垂直方向微调旋钮(11)或水平方向微调旋钮(12)连接。
3.如权利要求1所述的测试仪，其特征在于，所述载物台(14)上有凹槽。
4.如权利要求1或3所述的测试仪，其特征在于，所述载物台(14)的数量多于一个。
5.如权利要求1所述的测试仪，其特征在于，所述底座(20)中部安放支架(7)。
6.如权利要求1或3所述的测试仪，其特征在于，所述载物台(14)在支架(7)上的位置可调。
7.如权利要求1所述的测试仪，其特征在于，所述探针(10)固定于探针托(19)上。
8.如权利要求7所述的测试仪，其特征在于，所述探针托(19)采用聚四氟乙烯材料制作。
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