[实用新型]一种多晶硅分解炉

权利要求书

1.一种多晶硅分解炉，其特征在于包括带冷却水夹套的底盘和带冷却水夹套的钟罩式双层炉体，所述的钟罩式双层炉体设置于所述的底盘上，所述的底盘上均匀设置有十二个电极单元，每个所述的电极单元的中心设置有纵向贯穿所述的底盘的硅烷气体进气管，所述的硅烷气体进气管的第一端口为气体进口，所述的硅烷气体进气管的第二端口与所述的钟罩式双层炉体相连通，每个所述的电极单元包括按正方形排列的四个电极，所述的电极纵向贯穿设置于所述的底盘上，所述的电极的第一端位于所述的底盘的下方，所述的电极的第二端位于所述的钟罩式双层炉体内，每个所述的电极单元中以两个所述的电极为一组，并在该组的两个所述的电极的第二端之间连接有一个硅芯。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅分解炉，其特征在于所述的硅芯主要由与一组中的其中一个所述的电极相连接的第一硅芯段、与一组中的另一个所述的电极相连接的第二硅芯段及设置于所述的第一硅芯段和所述的第二硅芯段之间的硅芯连接段组成，所述的硅烷气体进气管的第二端口连接有设置于所述的钟罩式双层炉体内且与所述的硅烷气体进气管相连通的立管，所述的立管沿其轴向均匀设置有四排导流孔，每排所述的导流孔的位置对准所述的第一硅芯段或所述的第二硅芯段，所述的第一硅芯段外套设有带导热油夹套的第一硅芯套筒，所述的第二硅芯段外套设有带导热油夹套的第二硅芯套筒，所述的导流孔与所述的第一硅芯套筒及所述的第二硅芯套筒之间设置有导管，所述的第一硅芯套筒和所述的第二硅芯套筒之间设置有连通管，所述的第一硅芯套筒的底部连接有纵向贯穿所述的底盘的热油进油管，所述的第二硅芯套筒的底部连接有纵向贯穿所述的底盘的热油出油管。

3.根据权利要求2所述的一种多晶硅分解炉，其特征在于所述的第一硅芯套筒包括第一硅芯外筒和第一硅芯内筒，所述的第一硅芯外筒与所述的第一硅芯内筒之间的空隙形成一个用于导热油的第一空腔，所述的第二硅芯套筒包括第二硅芯外筒和第二硅芯内筒，所述的第二硅芯外筒与所述的第二硅芯内筒之间的空隙形成一个用于导热油的第二空腔，所述的第一空腔与所述的第二空腔通过所述的连通管相连通。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的一种多晶硅分解炉，其特征在于所述的钟罩式双层炉体上设置有炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管和视镜孔，所述的底盘上设置有底盘冷却水进水管和底盘冷却水出水管，所述的底盘的中心位置设置有纵向贯穿所述的底盘的尾气出气管，所述的尾气出气管与所述的钟罩式双层炉体相连通。

5.根据权利要求4所述的一种多晶硅分解炉，其特征在于每个所述的硅芯相连接的两个所述的电极中的其中一个所述的电极为正极，且另一个所述的电极为负极。

6.根据权利要求5所述的一种多晶硅分解炉，其特征在于所述的电极外套设有带冷却水夹套的电极套筒，所述的电极套筒上设置有电极冷却水进水管和电极冷却水出水管，所述的电极套筒包括电极外筒和电极内筒，所述的电极外筒与所述的电极内筒之间形成一个用于导冷却水的空隙，所述的空隙与所述的电极冷却水进水管及所述的冷却水出水管相连通。

7.根据权利要求6所述的一种多晶硅分解炉，其特征在于所述的电极的第二端与所述的硅芯之间设置有石墨夹头，所述的电极的第二端通过所述的石墨夹头与所述的硅芯相连接。

8.根据权利要求4所述的一种多晶硅分解炉，其特征在于所述的钟罩式双层炉体的材料采用超低碳不锈钢。

9.根据权利要求4所述的一种多晶硅分解炉，其特征在于所述的第一硅芯套筒和所述的第二硅芯套筒的材料均采用超低碳不锈钢。