[实用新型]RF电源波形显示匹配装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种波形显示匹配装置，尤其涉及一种RF电源波形显示匹配装置。

背景技术

在太阳能电池生产过程中，有一个很重要的生产工艺，叫做化学气象沉积，在化学气象沉积过程中需要使用RF电源在真空室中制造一个放电的环境，RF电源主要由两部分组成，分别为控制器和匹配器。控制器发出的为高频信号，由同轴电缆将信号传输至匹配器，这样就非常容易受到外界的影响和发生两个控制器自身的相互影响，导致高频信号不稳定。

实用新型内容

为了解决上述技术问题本实用新型提供一种RF电源波形显示匹配装置，目的是使高频信号能稳定地传送。

为达上述目的本实用新型RF电源波形显示匹配装置，包括示波器和匹配器，示波器与匹配器用信号线连接，信号线与传输电容并联。

所述的匹配器上设有同轴电缆。

所述的同轴电缆与放电电极相连。

所述的传输电容的一端与信号线连接，传输电容的另一端与匹配器内信号处理部连接。

本实用新型的优点效果：可以随时监测到RF电源所发射到匹配器的高频信号是否稳定，以此做出对RF电源的控制器做出调整。本实用新型结构简单，实用性强，操作方便，在同轴电缆上并联传输电容，保证了示波器从匹配器得到的信号的稳定性，示波器可随时显示匹配器的波形信号。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图中：1、示波器；2、信号线；3、匹配器；4、传输电容；5、同轴电缆。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

如图所示本实用新型RF电源波形显示匹配器，包括示波器1和匹配器3，示波器1与匹配器3用信号线2连接，信号线2与传输电容4并联，匹配器3上设有同轴电缆5，同轴电缆5与放电电极相连，传输电容4的一端与信号线2连接，传输电容4的另一端与匹配器3内信号处理部连接。