[实用新型]沉积箱真空度检测装置无效
| 申请号： | 201020131780.0 | 申请日： | 2010-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN201637537U | 公开（公告）日： | 2010-11-17 |
| 发明（设计）人： | 李健 | 申请（专利权）人： | 沈阳汉锋新能源技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/30 | 分类号： | G01L21/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110114 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 沉积 真空 检测 装置 | ||
【权利要求书】：
1.沉积箱真空度检测装置，其特征在于由下述结构构成：电磁阀，电磁阀与进气管连接，在进气管上通过管路与电阻规连接，电磁阀与电离规连接，电离规与电离规信号线连接，电阻规与电阻规信号线连接，电磁阀上设有电磁阀信号线。
2.根据权利要求1所述的沉积箱真空度检测装置，其特征在于所述的进气管通过法兰与电磁阀连接。
3.根据权利要求1所述的沉积箱真空度检测装置，其特征在于所述的进气管与电阻规之间的管路上设有法兰。
4.根据权利要求1所述的沉积箱真空度检测装置，其特征在于所述的电磁阀与电离规之间通过管路连接。
5.根据权利要求4所述的沉积箱真空度检测装置，其特征在于所述的电磁阀与电离规之间的管路上设有法兰。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沈阳汉锋新能源技术有限公司，未经沈阳汉锋新能源技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201020131780.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
