[实用新型]一种用于振动计量的低噪声外差激光干涉仪

权利要求书

1.一种用于振动计量的低噪声外差激光干涉仪，其特征在于，该干涉仪包括激光器、第一分光器、第一反射镜、第二反射镜、声光调制器、第二分光器、1/4波片和探测器，激光器发出的激光经第一分光器分光，透射光依次经过第一反射镜反射、第二分光器透射后作为参考光，进入探测器；激光经第一分光器的反射光依次经过第二反射镜、声光调制器调制、第二分光器后作为测量光，并经1/4波片后用来测量被测物体，被测物体漫反射的反射光返回依次经1/4波片、第二分光器反射后形成有效测量光进入探测器，与参考光干涉。

2.如权利要求1所述的用于振动计量的低噪声外差激光干涉仪，其特征在于，所述第一反射镜和第二反射镜均为直角反射镜。

3.如权利要求1所述的用于振动计量的低噪声外差激光干涉仪，其特征在于，所述第一分光器和第二分光器均为单波长偏振分光器，分光器端面镀有相应波长的增透膜。

4.如权利要求1所述的用于振动计量的低噪声外差激光干涉仪，其特征在于，所述第一分光器的分光面与所述激光器输出光路成45°。