[实用新型]镜面反射表面的形状测量装置

说明书

优先权

本申请要求2009年2月24日提交的题为“Shape Measurement of Specular Reflective Surface”的美国专利申请12/391,585的优先权。 

技术领域

本实用新型一般涉及用于测量物体形状的光学装置。更具体地讲，本实用新型涉及用于测量具有镜面反射表面的物体的形状的装置。 

背景技术

熔融拉伸工艺被用于从熔化的材料(比如熔化的玻璃)中制造出材料板(参见美国专利3,338,696和美国专利3,682,609)。通常，熔融拉伸工艺包括：将熔化的材料传递到一料槽中；并且以可控的方式使该熔化的材料从该料槽的侧面向下溢出。沿着该料槽侧面向下流动的分开的多股材料流在该料槽底部汇合成单一的一股材料流，该单一的一股材料流被拉成连续的材料板。在熔融拉伸机器底部，该连续的材料板被分成多个独立的片。该工艺的关键优点是，该材料板的表面并不接触该料槽的侧面或其它形成设备，因此是干净的。该工艺的另一个益处是，该材料板非常平整并且具有均匀的厚度(美国专利3,682,609)。 

在制造大平板显示器的过程中，通过熔融拉伸工艺所生产的大玻璃板是关键的部件。或者，它们可以被切割，以制造其它设备，比如有源电子设备、光生伏打设备和生物学阵列。然而，随着对更大的大尺寸的板的需求不断增长，形成并处理这些板的难度也越来越大。例如，在熔融拉伸机器底部的板划线与分离处理显著地有助于在熔融拉伸机器的形成区域中的板移动。该形成区域中的板移动可能对板内部的应力水平和应力变化带来不利的影响，有可能导致最终产品有变形。所处理的板越大，板移动对板内的应力水平和变化的影响就越显著。 

康宁公司，即本实用新型的受让人，已经开发了用于使所述拉伸的底部处的板移动达到最少的各种技术。一种这样的技术包括用激光对玻璃板进行划线，由此避免与玻璃板进行物理接触，物理接触可能导致板移动(Abramov等人的美国专利申请US12/008949)。另一种技术包括在玻璃板被划线时使用合适的梯段坡度设备(nosing device)啮合着该玻璃板，由此在划线期间减少该玻璃板的移动(Chalk等人的美国专利申请2008/0276646)。另一种技术包括分离该玻璃板而不使该玻璃板弯曲(Kemmerer等人的美国专利公报US2007/0039990)。这些技术需要关于玻璃板的位移和形状的实时信息。在所述FDM的不同高度处的此类信息也可以用于精细调节和优化该拉伸处理。