[实用新型]多晶硅铸锭用坩埚无效
申请号: | 201020138875.5 | 申请日: | 2010-03-17 |
公开(公告)号: | CN201620207U | 公开(公告)日: | 2010-11-03 |
发明(设计)人: | 陈雪 | 申请(专利权)人: | 常州天合光能有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06;C01B33/021 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 王凌霄 |
地址: | 213031 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 坩埚 | ||
【权利要求书】:
1.一种多晶硅铸锭用坩埚,包括坩埚本体(1),所述的坩埚本体(1)为石英陶瓷坩埚,其特征是:在所述的坩埚本体(1)的内表面设置一层高纯石英玻璃内层(2)。
2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭用坩埚,其特征是:所述的石英玻璃内层(2)的厚度为0.5-8mm。
3.根据权利要求2所述的多晶硅铸锭用坩埚,其特征是:所述的石英玻璃内层(2)的厚度为1-4mm。
4.根据权利要求3所述的多晶硅铸锭用坩埚,其特征是:所述的石英玻璃内层(2)的石英纯度大于99.995%,铁小于1ppmwt。
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