[实用新型]升降系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种升降系统，更具体地涉及一种真空环境行业中生产线上的成品或半成品进行升降的升降系统。

背景技术

升降装置在工业设备中的应用领域十分广泛，如在真空领域中，半导体的传输、光刻等过程，均需由升降装置实现成品或半成品的升降运动。而升降装置的运动精度、可靠性往往成为设备运行好坏的关键。

传统的升降方法有液压法、气压法、机械螺旋法等。液压法有比较大的顶升力，且有良好的自锁性能，但实施该方法的技术要求较高。如使用液压升降装置，其结构复杂，加工精度要求高，维修难度高，而且其有效工作行程受油量的限制。气压法虽自锁性能好，但其顶升力小，使用范围局限，而且一旦漏气则无法修补，使用寿命短。而机械螺旋法一般先由驱动马达驱动，其后驱动马达带动由齿轮组、螺杆等运动，从而带动工作平台进行升降运动。其承载力较强，但大都结构复杂，而且在工作过程中噪音很大，运动精度不高。往往，此种升降装置一般是被置于一腔体内部，在其升降运动中摩擦造成零部件粒化的颗粒粉尘滞留在腔体内，极易对腔体内的生产工艺环境造成污染，同时，容易造成工艺中气体、生成物与装置产生反应，导致装置质量发生问题，导致维修成本增加。因此，传统的升降装置无法很好地适应真空环境行业的生产线的使用需求。

因此，亟待提供一种运动精度高、可靠性高、低噪音、低污染且结构简单的适用于对真空环境行业的生产线的升降系统。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种运动精度高、可靠性高、低噪音、低污染且结构简单的适用于对真空环境行业的生产线的升降系统。

为实现上述目的，本实用新型的升降系统包括电连接的控制装置、受控于所述控制装置的驱动装置以及升降装置。所述升降装置与外部工作台连接，所述控制装置驱动所述驱动装置从而使所述升降装置带动外部工作台进行直线往复运动。其中，所述升降装置包括第一固定板、第二固定板、活动板、丝杠、丝杠螺母以及若干支撑柱，所述活动板设置于所述第一固定板及第二固定板之间，所述驱动装置固定于所述第一固定板上，所述丝杠螺母穿设并固定于所述活动板上，所述丝杠的一端穿过所述第一固定板并与所述驱动装置连接，所述丝杠的另一端穿过所述丝杠螺母后连接于所述第二固定板上，所述支撑柱的一端固定于所述活动板上，所述支撑柱的另一端穿过所述第二固定板并凸伸于所述第二固定板之上，以与所述外部工作台连接。本实用新型升降系统运动精度高、可靠性高、低噪音、低污染、结构简单。

较佳地，所述活动板及第二固定板之间设置有波纹管，所述波纹管呈中空结构，所述支撑柱贯穿所述波纹管并凸伸于所述第二固定板之上。波纹管的设置可避免真空气体的泄露，保持较好的工艺环境，从而提高产品的质量。

较佳地，所述升降装置还包括若干滚珠花键，所述滚珠花键的一端固定于所述第一固定板上，所述滚珠花键的另一端穿过所述活动板后固定于所述第二固定板上。所述滚珠花键的衬套固定于所述活动板上。在升降运动中，滚珠花键起垂直导向的作用，其结构稳固、紧凑，传动可靠并能提高传动精度。

较佳地，所述驱动装置包括伺服电机、主动轮、从动轮及同步带，所述伺服电机与所述控制装置电连接，所述主动轮与所述伺服电机的传动轴相啮合，所述从动轮与所述丝杠相啮合，所述同步带缠绕于所述主动轮及从动轮上。此种采用伺服电机带动同步带的方式，其运动稳定、准确，从而保证外部工作台的稳定性。而采用同步带传动可以有效地避免下降运动时对零部件的冲击，从而降低零部件受损的可能性。而且，同步带无需润滑，从而减少维护时间及成本。

较佳地，还包括传感器固定件及安装于所述传感器固定件上的至少一传感器，所述传感器固定件的两端分别固定于所述第一固定板及第二固定板上。采用传感器进行对活动板的升降行程进行检测和控制，而且可对该行程进行调节。

较佳地，所述传感器为光电传感器，所述控制装置为可编程逻辑控制器。此种由可编程逻辑控制器控制运动，并结合光电传感器的光机电一体化的设计，采用闭合控制系统进行控制，其程序可按实际需求进行修改，自动化程度高、控制精度高、操作方便。

通过以下的描述并结合附图，本实用新型将变得更加清晰，这些附图用于解释本实用新型的实施例。

附图说明

图1为本实用新型升降系统的一个实施例的结构框图。

图2为本实用新型升降系统的一个实施例的侧视图。

图3为如图2所示的升降系统的一个立体图。

图4为如图3所示的升降系统的另一立体图。

具体实施方式