[实用新型]挡板冷却机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空蒸镀用的挡板，更具体地涉及一种挡板冷却机构。

背景技术

随着现代科学技术的发展，对产品质量和生产工艺要求不断提高，真空技术成为一门不可缺少的技术，已被广泛应用到各个技术领域中。其中，应用较为广泛的真空镀膜技术，是指在真空中把蒸发源加热蒸发或用加速离子轰击溅射，沉积到基片表面形成单层或多层薄膜。该真空镀膜技术已经广泛的应用到各个领域，如众所周知的物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)，化学气相淀积(Chemical Vapor Deposition，CVD)技术。在制备薄膜工艺过程中，一般都要求膜厚均匀，组分纯净、性能稳定、无应力、附着牢固等。一般的薄膜制备方式都需要经历抽真空、加热、镀膜等一系列过程。在镀膜之前的加热过程中，在未达到蒸发物的蒸发温度时就会有蒸发源将杂质蒸发掉，另有一些蒸发物在加热蒸发过程中会释放气体，使镀膜室内压强上升。杂质和不稳定的气体扩散是造成薄膜厚度不均，组分不净、性能不稳、应力较大、附着不牢固等影响镀膜质量的主要原因。原有的在蒸发源和处理板之间没有采取相应的保护措施的设计已经不能满足工艺的需要，另有一些厂商通过在蒸发源和处理板之间设置挡板来解决上述缺点。

挡板的作用是阻挡不必要的物质进入到相应的空间，在真空环境下还要要求挡板不会对真空环境造成污染，甚至说可以改善真空环境，而对挡板的冷却可以增强沉积物质与挡板的附着力，使附着在挡板上的沉积物质不易脱落，也使蒸发源更加顺畅的进行蒸镀，另外还可以降低腔体温度，保持真空腔体内真空环境的清洁。而设置在腔体之外的一般是通过波纹管或者密封垫圈进行密封，通常也没有采取良好的冷却措施，较高的真空处理腔内温度会通过热传递到相应的垫圈或者波纹管，这样也很容易造成密封圈老化、波纹管断裂。另外，挡板的旋转通过轴来带动控制，轴的一端需要接触到真空腔内。某些时候，轴需要高速运转或者需要承受较大的扭矩或者会接收到外部的热量，相应的在轴上也会产生热量，当热量无法得到有效的冷却时，就会降低轴的寿命和安装精度，甚至造成轴报废，影响挡板控制机构的的正常运行，最主要的一点由此将会带来噪音、震动，由此可能造成产品出现问题。

已知的现有的冷却机构都是对安装轴的轴承、基座或者腔体进行的冷却。现有技术中无法有效地对遮挡蒸发源的挡板进行冷却，或者说没有冷却蒸发源挡板，会造成膜层容易脱落，降低了真空腔内的工艺环境等。另外现有的挡板，也无法保证膜层的纯度及品质。因此提供一种合理的挡板冷却机构至关重要。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种冷却效果好、附着力强、清洁度高并能降低真空腔体温度、提高膜层形成质量的挡板冷却机构。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案为：提供一种适用于与冷却介质配合使用的挡板冷却机构，所述挡板通过旋转轴悬设于提供真空环境的真空腔体内并位于蒸发源与待镀基板之间，所述旋转轴的上端与所述挡板固定连接，所述旋转轴的下端穿过所述真空腔体并与真空腔体外的传动组件固定连接，所述旋转轴与所述真空腔体之间设有动密封组件，所述动密封组件套设于所述旋转轴上并与所述旋转轴枢接，其中，所述挡板冷却机构包括：连接座、连接件、冷却腔、冷却管、输出管、输入接口及输出接口，所述挡板通过所述连接座与所述旋转轴固定连接，所述连接件套设于所述旋转轴位于真空腔体外的端部上，所述连接件的上端与所述旋转轴枢接，所述连接件的下端与所述输入接口固定连接，所述输入接口与所述输出接口固定连接并位于所述连接件与输出接口之间，所述旋转轴、连接件、输入接口及输出接口均沿所述旋转轴的轴向方向开设有中空结构并相互连通形成所述冷却腔，所述输出管悬于所述冷却腔内并贯穿所述旋转轴、连接件、输入接口，所述输出管位于腔体外的末端与所述输出接口固定连接，所述冷却管铺设于所述挡板上，所述冷却管具有输入端与输出端，所述冷却管的输入端与所述冷却腔连通，所述冷却管的输出端与所述输出管连通，所述输入接口与所述冷却腔连通，所述输出接口与所述输出管连通。