[实用新型]一种线性蒸发源无效
申请号: | 201020140696.5 | 申请日: | 2010-03-25 |
公开(公告)号: | CN201751427U | 公开(公告)日: | 2011-02-23 |
发明(设计)人: | 杨建忠 | 申请(专利权)人: | 彩虹显示器件股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/04 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 汪人和 |
地址: | 712021*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 线性 蒸发 | ||
1.一种线性蒸发源,其特征在于,其包括若干并排排列的坩埚(1)、热传导板(2)及加热电极(3),所述热传导板(2)接触所述并排排列的坩埚(1),加热电极(3)连接热传导板(2),所述坩埚(1)包括主体部(11)及主体部(11)上的喷嘴部(12),主体部(11)具有一收容有机材料的收容空间(110),喷嘴部(12)具有一连通收容空间(110)的喷嘴(120)。
2.如权利要求1所述线性蒸发源,其特征在于,所述主体部(11)呈方形。
3.如权利要求1所述线性蒸发源,其特征在于,所述坩埚(1)的材质为钛。
4.如权利要求1所述线性蒸发源,其特征在于,所述喷嘴(120)具有一喷嘴口(1201),靠近线性蒸发源中心的坩埚(1)的喷嘴口(1201)小于远离线性蒸发源中心的坩埚(1)的喷嘴口(1201)。
5.如权利要求1所述线性蒸发源,其特征在于,所述喷嘴(120)为上小下大的锥体结构。
6.如权利要求1所述线性蒸发源,其特征在于,所述热传导板(2)为不锈钢制成的片状结构。
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