[实用新型]电镀装置

权利要求书

1.一种电镀装置，用于在基板的待镀表面形成金属镀层，所述电镀装置包括盛有电镀液的电镀槽、至少一个阴极导电杆、多个阳极导电杆和多个辅助阳极，所述至少一个阴极导电杆、多个阳极导电杆和多个辅助阳极均浸没于所述电镀液中，所述多个阳极导电杆依次平行排列，每一阳极导电杆均设置有至少一个辅助阳极，且该至少一个辅助阳极可沿阳极导电杆长度方向移动，所述阴极导电杆基本垂直于多个阳极导电杆，所述阴极导电杆用于设置所述基板，以使所述基板浸没于所述电镀液中，且使其待镀表面与多个阳极导电杆上的多个辅助阳极相对。

2.如权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，每一阳极导电杆均设置有两个辅助阳极，所述两个辅助阳极分别位于所述基板的相对的两侧。

3.如权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，设置于不同的阳极导电杆上的辅助阳极与所述基板的间距不同，与基板中心区域相对的的辅助阳极与所述基板的间距小于与基板边缘区域相对的辅助阳极与所述基板的间距。

4.如权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述电镀装置还包括两个基本平行于所述阴极导电杆的阳极汇流杆，所述多个阳极导电杆均电连接于所述两个阳极汇流杆，所述多个阳极导电杆均设置于所述两个阳极汇流杆上，且所述多个阳极导电杆均可沿阳极汇流杆的长度方向移动。

5.如权利要求4所述的电镀装置，其特征在于，所述阳极导电杆包括导电杆体和分别位于所述导电杆体两端的第一滑动结构和第二滑动结构，所述第一滑动结构具有与一个阳极汇流杆形状相匹配的第一滑槽，第二滑动结构具有与另一阳极汇流杆形状相匹配的第二滑槽。

6.如权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述辅助阳极包括一个收容筐、至少一个挂钩和多个金属块，所述收容筐连接于所述至少一个挂钩，所述至少一个挂钩挂设于所述阳极导电杆，所述多个金属块收容于所述收容筐，所述多个金属块均用于在电镀液的作用下产生金属阳离子。

7.如权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述电镀装置还包括至少一个挡杆，所述至少一个挡杆与所述至少一个辅助阳极一一对应，所述至少一个挡杆用于限制所述至少一个辅助阳极与所述阴极导电杆的间距。