[实用新型]一种等离子处理设备有效
| 申请号： | 201020143767.7 | 申请日： | 2010-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN201655739U | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 丁雪苗 | 申请（专利权）人： | 珠海彼得氏等离子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02 |
| 代理公司： | 珠海智专专利商标代理有限公司 44262 | 代理人： | 刘曾剑 |
| 地址： | 519060 广东省珠海市香洲*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 处理 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种等离子处理设备，包括具有腔体的壳体和位于该腔体内部的电极，所述壳体的内壁上固定有屏蔽层，其特征在于：所述屏蔽层包括了固定板和绝缘氟胶板，所述绝缘氟胶板位于所述固定板与所述壳体之间；其中，所述绝缘氟胶板紧贴于所述壳体的内壁，所述固定板紧贴于所述绝缘氟胶板的表面上。
2.根据权利要求1所述的等离子处理设备，其特征在于：所述固定板、绝缘氟胶板和壳体上分别设有相互连通的连接孔，所述连接孔处穿设有紧固件。
3.根据权利要求2所述的等离子处理设备，其特征在于：所述连接孔处还设有可供所述紧固件穿过的氟胶管，所述紧固件与所述固定板之间设有可完全覆盖所述连接孔的氟胶垫片。
4.根据权利要求1所述的等离子处理设备，其特征在于：所述绝缘氟胶板粘贴于所述壳体的内壁，所述固定板粘贴于所述绝缘塑胶板的靠近所述电极的表面上。
5.根据权利要求1至4任一项所述的等离子处理设备，其特征在于：所述绝缘氟胶板和固定板的厚度均为2mm。
6.根据权利要求1至4任一项所述的等离子处理设备，其特征在于：所述固定板与所述电极之间绝缘。
7.根据权利要求1至4任一项所述的等离子处理设备，其特征在于：所述固定板为金属板。
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