[实用新型]多瓣石墨坩埚无效
| 申请号： | 201020143814.8 | 申请日： | 2010-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN201756596U | 公开（公告）日： | 2011-03-09 |
| 发明（设计）人： | 周俭 | 申请（专利权）人： | 上海杰姆斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10 |
| 代理公司： | 北京元中知识产权代理有限责任公司 11223 | 代理人： | 曲艳 |
| 地址： | 201600 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石墨 坩埚 | ||
【权利要求书】：
1.一种多瓣石墨坩埚，呈圆筒状，其特征在于：所述石墨坩埚的埚体(1)由竖向的大小相同的至少三瓣瓣体(2)及一个底盘(3)围成，所述底盘(3)的顶面为一弧面。
2.根据权利要求1所述的多瓣石墨坩埚，其特征在于：所述底盘(3)的直径占所述埚体(1)开口部直径的比例为二分之一或以上。
3.根据权利要求1所述的多瓣石墨坩埚，其特征在于：所述底盘(3)的直径占所述埚体(1)开口部直径的比例为三分之二。
4.根据权利要求1所述的多瓣石墨坩埚，其特征在于：所述瓣体(2)底部的拐角(4)为直角或圆角。
5.根据权利要求1至4任一项所述的多瓣石墨坩埚，其特征在于：所述瓣体(2)为三瓣或四瓣。
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