[实用新型]测试机

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及半导体工业中的测试技术，特别是涉及一种测试机。

【背景技术】

测试机(Automatic Test Equipment，ATE)是用于晶圆和其他成品测试的一种专用设备，可以实现各种电参数的测量，和探针台配合可以完成晶圆电参数的测试。其有多个与探针台连接的接口。

探针台(prober)是半导体生产过程中用于晶圆测试的一种设备，主要完成晶圆测试中探针卡与晶圆的可靠接触、晶圆的固定步距移动、以及探针台与测试机的信号连接等功能。

测试头是测试机上的一种测试转换装置，通过该装置，可以将测试机的信号分配给不同的测试单元，以便提高测试的效率。

传统的测试机只有一个测试头，与探针台配合对晶圆进行测试时，只能进行单芯片测试，即晶圆每次移位并与探针卡接触只能测试一个芯片，测试效率较低。

为了提高测试效率，有的测试机，如JUNOTeseter公司生产的DTS-1000，配备有两个测试头，可以连接两台探针台实现乒乓测试，如图1所示。测试机100包括第一测试头110和第二测试头120，分别连接探针台200和探针台300。第一测试头110测试一个探针台200承载的晶圆的一个芯片后，得到测试结果；在探针台200对晶圆移位并与探针卡接触的过程中，第二测试头120测试探针台300承载的晶圆的一个芯片，并得到测试结果。这样就可以省下移位和与探针卡接触的时间。

这样虽然提高了测试速度，但需要一台测试机和两台探针台配合测试，需要的设备较多，因此提高了测试成本。

【实用新型内容】

基于此，有必要提供一种只需要和一台探针机配合测试，但仍能保证较快的测试速度的测试机。

一种测试机，包括多个测试头，还包括通过数据接口与所述多个测试头连接的控制模块，所述控制模块接收测试信号，通过数据接口指示所述多个测试头顺次开始测试，每个测试头测试完成后将测试结果通过数据接口发送给控制模块，待所有测试头均完成了一次测试后，将所有的测试结果通过控制模块集中输出。

优选的，所述多个测试头是两个测试头。

优选的，所述数据接口是并口。

优选的，所述控制模块包括复杂可编程逻辑器件。

优选的，所述控制模块还包括串口，通过串口接收所述测试信号或输出测试结果。

优选的，所述控制模块还包括向复杂可编程逻辑器件提供工作电源的电源模块。

优选的，所述控制模块还包括向复杂可编程逻辑器件提供工作时钟的时钟模块。

上述测试机配备有多个测试头，所有测试头均完成了一次测试后，将测试结果集中输出，因此晶圆每移动并与探针卡接触一次，可以测试与测试头数量相等的芯片，相对于每移动并与探针卡接触一次只能测试一个芯片的传统单芯片测试的测试机，大大提高了测试速度和效率。且只需要与一台探针台配合进行测试，相对于需要与两台探针台配合进行乒乓测试的测试机，能够节省成本。

【附图说明】

图1是传统的有两个测试头的测试机的结构示意图；

图2是一个实施例中本实用新型测试机的结构示意图；

图3是另一个实施例中本实用新型测试机的结构示意图；

图4是一个实施例中控制模块的结构示意图。

【具体实施方式】

图2是一个实施例中本实用新型测试机的结构示意图。与探针台200连接的测试机100包括多个测试头及控制模块130。控制模块130接收并通过数据接口(图未示)转发探针台200发送的开始测试信号，指示所述多个测试头顺次开始测试，每个测试头测试完成后将测试结果通过数据接口发送给控制模块。待所有测试头均完成了一次测试后，将所有的测试结果转换成探针台能够识别的形式，然后集中输出给探针台200；同时测试机100指示探针台200将晶圆移动到下一个位置并与探针卡接触，开始进行下一轮测试。

图3是另一个实施例中本实用新型测试机的结构示意图，该实施例是测试机配备有两个测试头的情况。与探针台200连接的测试机100包括第一测试头110、第二测试头120以及控制模块130。

控制模块130接收并通过数据接口(图未示)转发探针台200发送的开始测试信号，指示第一测试头110开始测试。测试机100的第一测试头110测试完一个芯片(DIE)后，将测试结果发送给控制模块130，同时第二测试头120开始对另一个芯片进行测试，测试完后再通过数据接口(图未示)将测试结果发送给控制模块130，由控制模块130将两次收到的结果转换成探针台能够识别的形式后，一并反馈给探针台200。