[实用新型]缓冲装置

权利要求书

1.一种缓冲装置，用于连接于前处理环境空间与后处理环境空间之间，其特征在于，包括：

密封腔，所述密封腔呈水平放置，所述密封腔的右侧面开设有工件进口，所述工件进口处设置有工件进口阀门，所述密封腔的左侧面开设有工件出口，所述工件出口处设置有工件出口阀门；

工件传动单元，所述工件传动单元包括滚轮驱动装置及枢接于所述密封腔内的若干传动滚轮，所述传动滚轮呈水平的排列于工件进口阀门与工件出口阀门之间，所述滚轮驱动装置驱动所述传动滚轮转动；及

真空度控制单元，所述真空度控制单元包括气管、进气阀门、出气阀门及真空度测量仪器，所述气管与所述密封腔连通且所述气管具有进气分管及出气分管，所述进气阀门装设于所述进气分管上，所述出气阀门装设于所述出气分管上。

2.如权利要求1所述的缓冲装置，其特征在于，还包括控制装置，所述控制装置包括控制处理器、进口传感器及出口传感器，所述进口传感器安装于所述密封腔体内并朝向所述工件进口，且与所述进口阀门电连接；所述出口传感器安装于所述密封腔体内并朝向所述工件出口，且与所述出口阀门电连接；所述控制处理器分别与所述进口传感器和出口传感器电连接。