[实用新型]卷绕式真空镀膜设备

说明书

技术领域：

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，特别涉及一种卷绕式真空镀膜设备。

背景技术：

在如PET、PE、PI等塑胶材料，柔性高分子材料、炭质材料等带状基材上镀制功能膜的产品，在现代工业和高技术领域用途广泛。在带状基材上镀覆功能膜多采用卷绕镀膜方式。

加工上述产品，一般需要在高真空环境下，采用离子束溅射、磁控溅射、电子束蒸发镀膜等多种技术。真空镀膜设备可以在导电基材与非导电基材获得一层或多层均匀的沉积层，可以应用于EMI、柔性线路板，光学镀膜等行业。目前，普遍应用的真空镀膜机大至由真空室、真空获得系统、卷绕系统、镀覆系统以及自动控制系统组成。其操作程序如下：上料——关真空室门——开启真空获得系统的泵体，抽真空——充工作气体，开启镀覆系统——工艺生产--停止泵体，开真空室门，取出产品——下一个工作循环。

作为功能膜膜产品载体的基材带，在镀膜过程中需保证达到无斜拉伸、高平整度以及膜层连续均匀而无损伤的要求。然而，现有的卷绕式真空镀膜设备，其卷绕装置一般为主动装置，即主动的放卷辊装置和主动的收卷辊装置，工作过程中，盘绕于放卷辊的料卷卷径逐渐减小，盘绕于收卷辊的料卷卷径逐渐增大，若卷绕装置的旋转线速度恒定，则基材表面的张力将随料卷卷径变化而变化，这会造成膜层不均匀，影响镀膜效果。为避免因基材张力变化而造成膜层不均匀的缺陷，目前一般有采用磁粉离合器以及增设光电或无线电检测的张力传感轴等实现对卷绕装置旋转线速度的调节，从而实现张力控制，但这造成设备结构复杂，成本高昂，且由于传感电路的响应延时、响应误差等，其张力控制效果仍不理想。

发明内容：

本实用新型的目的在于针对现有技术的不足而提供一种张力控制效果好，膜层均匀，镀膜效果好的卷绕式真空镀膜设备。

本实用新型的目的通过以下技术措施实现：

卷绕式真空镀膜设备，包括设置有真空获得系统的真空腔体，所述真空腔体内设置有放卷装置、镀膜室和收卷装置；所述镀膜室设置有与驱动电机输出轴连接的镀膜辊，镀膜室的镀膜装置正对所述镀膜辊的圆周面；所述放卷装置包括一放卷辊，所述放卷辊与一放卷送料辊轮对连接，所述放卷送料辊轮对的其中一个辊轮与一放卷送料电机的输出轴连接，所述放卷送料辊轮对与所述镀膜辊之间设置有张力释放辊；所述收卷装置包括与一收卷电机输出轴连接的收卷辊，所述镀膜辊与收卷辊之间设置有收卷送料辊轮对，该收卷送料辊轮对的其中一个辊轮与一收卷送料电机的输出轴连接，该收卷送料辊轮对与所述收卷辊之间亦设置有张力释放辊。

本实用新型的进一步技术方案包括：

所述张力释放辊下方均设置有光电开关，所述光电开关与所述驱动电机、放卷送料电机、收卷送料电机、收卷电机均电连接。

其中，所述张力释放辊的圆周表面凸设有定位挡板，所述张力释放辊两侧分别设置有压辊。

其中，所述放卷辊设置有磁粉制动器。

其中，所述收卷电机为双向电机，该收卷电机的输出轴设置有磁粉离合器。

根据以上所述的，所述放卷装置与镀膜辊之间设置有分膜装置，所述分膜装置包括分膜辊轮对和保护膜收卷辊，所述分膜辊轮对设置于靠近镀膜辊的位置，分膜辊轮对设置有磁粉制动器，所述保护膜收卷辊与一保护膜收卷电机的输出轴连接，所述保护膜收卷电机设置有自动调速器。

进一步地，所述镀膜室外靠近放卷装置的一侧设置有清洗装置。

更进一步地，所述镀膜辊与收卷装置之间设置有覆膜装置，所述覆膜装置包括覆膜辊轮对和保护膜放卷辊，所述覆膜辊轮对设置于靠近镀膜辊的位置。

其中，所述镀膜室内间隔设置有分隔镀膜室的隔板，两隔板所围覆的区域为隔离区域，所述隔离区域两侧为镀膜区域，所述镀膜装置设置于所述镀膜区域内，所述隔离区域内设置有气压维持泵。

所述隔离区域内亦设置有镀膜装置。