[实用新型]一种激光加工系统

权利要求书

1.一种激光加工系统，其特征在于，所述系统包括：

产生加工光的加工光光源；

设于所述加工光的光路上的光路调整装置；

聚焦镜，用于接收所述加工光，将所述加工光聚焦于工件；以及

镀膜镜片，用于接收经所述工件返回的加工光，将所述返回的加工光调整至视觉观测装置。

2.如权利要求1所述的激光加工系统，其特征在于，所述光路调整装置设于所述镀膜镜片与聚焦镜之间。

3.如权利要求2所述的激光加工系统，其特征在于，所述光路调整装置包括第一摆动镜和第二摆动镜，所述加工光投射至第一摆动镜，经所述第一摆动镜投射至第二摆动镜，经所述第二摆动镜投射至聚焦镜。

4.如权利要求3所述的激光加工系统，其特征在于，所述第一摆动镜的摆动轴与第二摆动镜的摆动轴相互垂直。

5.如权利要求1～4中任一项所述的激光加工系统，其特征在于，所述聚焦镜为变焦镜。

6.如权利要求5所述的激光加工系统，其特征在于，所述变焦镜由凸透镜和与所述凸透镜相距距离为d1的凹透镜构成。

7.如权利要求5所述的激光加工系统，其特征在于，所述变焦镜为F θ镜头。

8.如权利要求1所述的激光加工系统，其特征在于，所述视觉观测装置设有坐标系。

9.如权利要求1所述的激光加工系统，其特征在于，所述视觉观测装置与镀膜镜片之间设有滤光片。