[实用新型]一种精密可调定位装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种可调定位装置，尤其涉及一种用于相位调制器的精密可调的定位装置。

背景技术

在半导体工艺流程中，光刻机离轴对准系统的激光模块为离轴对准成像模块提供高性能的照明激光。在激光模块中，激光从激光器中发出的光要经过复杂的调制过程才能达到性能指标，其中相位调制器用于调制激光的相位，人为的破坏激光的时间相干性，可从根本上抑制鬼影干扰。在光路设计上，激光光束中心需穿过相位调制器上的光电晶体中心进行调节。由于相位调制器的光电晶体尺寸较小，只有1mm*1mm，而从激光器发光处发出的光束直径约0.7mm，由于激光光束有一定的发散角，加上机械零件加工精度，激光器的安装精度等因素，把相位调制器的安装设计成可以调节的结构比较合理，这样可以更精准地使激光光束中心穿过相位调制器的光电晶体中心，实现有效的激光相位调制器。

目前现有的装调机构主要有两种：一种采用标准的二维调节平台，调节精度较高，但结构复杂，体积较大，成本高。另一种采用凸轮(偏心轮或偏心销)结构，结构简单但其不足之处在于：其一调节量小，调节精度不高，其二调节精度非线性，属于余弦结构，调节量不易掌控。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是，提供一种满足较高精度定位要求的、有较大调节范围的、结构简单紧凑、调节方便、能够实现两自由度独立调节的微调机构。

为解决上述问题，本实用新型提供一种精密可调定位装置，包括第一组和第二组螺旋调节结构，所述第一组和第二组螺旋调节结构的调节方向互相垂直，每组所述螺旋调节结构包括：调节基板、被调节件、一对导向销和螺旋调节机构；

所述调节基板上设置有一圆柱凹槽和一对销孔，所述圆柱凹槽凹入方向设置一螺纹孔；

所述被调节件上设置有一对导向腰形孔和一圆柱凸台；

所述导向销一端与所述销孔紧密配合，另一端与所述导向腰形孔相适配，以限定被调节件的单方向移动；

所述螺旋调节结构由螺旋块和定位螺钉构成，所述螺旋块与所述圆柱凹槽相适配，所述螺旋块上设置有定位槽、以及所述圆柱凸台相适配的螺旋槽，所述定位螺钉包括螺纹段和光轴段两部分，所述螺纹段旋进所述螺纹孔，所述光轴段与所述定位槽适配，确保螺旋块做无移动旋转。

优选的，所述螺旋块的头部设有六角孔和旋转孔。

优选的，所述螺旋块的材料为黄铜材料或锡青铜材料等。

进一步的，所述第一组螺旋调节结构包括：第一支撑架、第二支撑架、第一对导向销和第一螺旋调节结构；所述第一支撑架上设有第一圆柱凹槽和第一对销孔，所述第一圆柱凹槽凹入方向设置有第一螺纹孔；所述第二支撑架与所述第一支撑架直接相靠，所述第二支撑架上设有第一对导向腰形孔和第一圆柱凸台；所述第一对导向销一端与所述第一对销孔紧密配合，另一端与所述第一对导向腰形孔相适配，以限定被调节件的单方向移动；所述第一螺旋调节结构由第一螺旋块和第一定位螺钉构成，所述第一螺旋块与所述第一圆柱凹槽相适配，所述第一螺旋块上设置有第一定位槽、以及与所述第一圆柱凸台相适配的第一螺旋槽，所述第一定位螺钉包括第一螺纹段和第一光轴段两部分，所述第一螺纹段旋进所述第一螺纹孔，所述第一光轴段与所述第一定位槽适配，确保第一螺旋块做无移动旋转。

进一步的，所述第二支撑架相对于所述第一支撑架限于水平方向移动。

进一步的，所述第二组螺旋调节结构包括：所述第二支撑架、第三支撑架、第二对导向销和第二螺旋调节结构；所述第二支撑架上还设有第二圆柱凹槽和第二对销孔，所述第二圆柱凹槽凹入方向设置有第二螺纹孔；所述第三支撑架与第二支撑架直接相靠，所述第三支撑架上设有第二对导向腰形孔和第二圆柱凸台；所述第二对导向销一端与所述第二对销孔紧密配合，另一端与所述第二对导向腰形孔相适配，以限定被调节件的单方向移动；所述第二螺旋调节结构由第二螺旋块和第二定位螺钉构成，所述第二螺旋块与所述第二圆柱凹槽相适配，所述第二螺旋块上设置有第二定位槽、以及与所述第二圆柱凸台相适配的第二螺旋槽，所述第二定位螺钉包括第二螺纹段和第二光轴段两部分，所述第二螺纹段旋进所述第二螺纹孔，所述第二光轴段与所述第二定位槽适配，确保第二螺旋块做无移动旋转。

进一步的，所述第一支撑架相对于所述第二支撑架限于水平方向移动。

较佳的，所述调节基板与所述被调节件之间还设有固定螺丝，所述调节基板上设置有长孔，所述被调节件上设置有螺丝孔，所述腰形孔和所述螺丝孔相配合，所述固定螺丝穿过所述腰形孔旋进所述螺丝孔，固定所述调节基板和所述被调节件。