[实用新型]纳米级精度的表面熨压处理与微纳结构阵列加工平台无效
| 申请号： | 201020163697.1 | 申请日： | 2010-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN201770470U | 公开（公告）日： | 2011-03-23 |
| 发明（设计）人： | 赵宏伟;胡磊磊;马志超;张洪国;朱帅;邢立峰;黄虎 | 申请（专利权）人： | 赵宏伟 |
| 主分类号： | B81C99/00 | 分类号： | B81C99/00;B82B3/00 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 朱世林;王怡敏 |
| 地址： | 130025 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 纳米 精度 表面 处理 结构 阵列 加工 平台 | ||
【权利要求书】：
1.一种纳米级精度的表面熨压处理与微纳结构阵列加工平台，包括支撑单元、驱动单元及预紧机构，其特征在于：所述支撑单元由包括支撑单元I(3)及支撑单元II(6)，该支撑单元I(3)与支撑单元II(6)螺纹连接；
所述驱动单元包括工具头(1)、碟簧(2)、工具头座(4)及压电叠堆(5)，该压电叠堆(5)设置于工具头座(4)的矩形槽中，工具头座(4)的中部以柔性铰链传动；工具头(1)置于工具头座(4)前端的锥形槽中，碟簧(2)置于支撑单元I(3)与工具头(1)之间；所述预紧机构由预紧螺钉(7)与支撑单元II(6)的螺纹相互配合构成。
2.根据权利要求1所述的纳米级精度的表面熨压处理与微纳结构阵列加工平台，其特征在于：所述的工具头(1)为钢球，工具头座(4)为钢球座。
3.根据权利要求1或2所述的纳米级精度的表面熨压处理与微纳结构阵列加工平台，其特征在于：所述的工具头(1)与碟簧(2)相互配合。
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