[实用新型]真空泵系统

权利要求书

1.一种真空泵系统，其特征在于，包括：

一第一连通管路；

一第二连通管路；

一第三连通管路；

一第一控制阀，组设于该第一连通管路与该第二连通管路之间；

一逆止阀；以及

一真空泵，包括有一吸入侧、与一排出侧，其中该第一连通管路分别连接于该第一控制阀的一出气端与该吸入侧，该第二连通管路分别连接于该第一控制阀的一入气端与该排出侧，该第三连通管路分别连接于该排出侧与该逆止阀的一入气端，且该逆止阀位于该第二连通管路之后，该真空泵的该吸入侧与该排出侧之间通过该第一控制阀选择式连通。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述真空泵的该吸入侧通过一第四连通管路而连通至一工艺腔体。

3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，还包括一第二控制阀，组设于该第四连通管路中。

4.如权利要求3所述的系统，其特征在于，还包括一压力传感器、与一第一控制器，该压力传感器设于该工艺腔体内，该第一控制器分别电连接于该压力传感器与该第二控制阀。

5.如权利要求4所述的系统，其特征在于，所述第一控制器还电连接于该第一控制阀。

6.如权利要求4所述的系统，其特征在于，还包括一第二控制器，电连接于该第一控制阀。

7.如权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括一消音器，组设于该逆止阀的一出气端。