[实用新型]硅棒晶托无效
申请号: | 201020169378.1 | 申请日: | 2010-04-19 |
公开(公告)号: | CN201677413U | 公开(公告)日: | 2010-12-22 |
发明(设计)人: | 刘雷;罗贵实;陈鹏;唐迪 | 申请(专利权)人: | 锦州日鑫硅材料有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D7/04 |
代理公司: | 锦州辽西专利事务所 21225 | 代理人: | 李辉 |
地址: | 121000 辽宁省锦*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅棒晶托 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种单晶硅生产过程中使用的可防止边皮脱落的硅棒晶托。
背景技术
在单晶硅生产过程中需要使用线切方机切割单晶硅棒,圆硅棒需要粘接在晶托上才能装入线切方机中进行切割,切割过程快结束时,经常发生硅棒边皮脱落的现象,脱落的边皮压在线网上形成断线,使切割暂停,需重新布线继续切割。边皮脱落造成断线,不但影响了产品质量,还浪费大量时间需重新布线、检查,再开机完成此次切割。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种结构简单,拆卸方便,容易清洗,确保切割过程中边皮不会脱落的硅棒晶托。
本实用新型涉及的硅棒晶托,包括晶托基体,其特殊之处是:在晶托基体的圆周面上设有四个插槽,所述的插槽沿圆周方向均布,该硅棒晶托还设有用来插装在插槽内的弧形挡板。
上述的硅棒晶托,所述的插槽是由焊接在晶托基体圆周面上且内外布置的两个拱形钢片形成,以将挡板固定夹紧。
本实用新型的优点是:结构简单,拆卸方便,而且便于清洗。在硅棒粘接完毕后,把挡板插入到插槽中,将切割后的硅棒边皮挡住,固定效果好,从根本上杜绝了边皮脱落造成断线情况的发生,把由于边皮脱落造成的断线损失降低为零。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是图1(去掉左侧和后面挡板)的俯视图;
图3是图1中挡板的结构示意图;
图4是图3的仰视图。
图中:晶托基体1,插槽2,挡板3,拱形钢片4。
具体实施方式
如图所示,该硅棒晶托有一个晶托基体1,在晶托基体1的圆周面上设有四个插槽2,所述的插槽2沿圆周方向均布,该硅棒晶托还设有用来插装在插槽2内的钢质弧形挡板3。所述的插槽2是由焊接在晶托基体1圆周面上且内外布置的两个拱形钢片4形成,以将挡板3固定夹紧。当晶棒与晶托基体1粘接后,把挡板3插入到插槽2中可起到固定晶棒的作用,防止切割后的边皮脱落。
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