[实用新型]一种大口径单层薄膜厚度全场检测装置无效
| 申请号： | 201020169940.0 | 申请日： | 2010-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN201653374U | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 苏俊宏;杨利红;徐均琪;梁海锋;惠迎雪;朱昌;田爱玲 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 黄秦芳 |
| 地址： | 710032*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 口径 单层 薄膜 厚度 全场 检测 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种大口径单层薄膜厚度全场检测装置，其特征在于：包括光源系统(1)、干涉系统、CCD图像捕获系统和样品移动控制系统，所述的干涉系统包括消模器(2)、扩束器(3)、准直镜(5)、成像物镜(15)、分光镜(6)、补偿镜(7)、参考反射镜(8)、PZT调节器(9)、PZT驱动(10)和可控样品台(11)，所述CCD图像捕获系统包括CCD摄像机(12)、图像捕获器(13)和计算机(14)；所述的光源系统(1)、消模器(2)和扩束器(3)依次设置在第一光轴上，所述CCD摄像机(12)、成像物镜(15)、第二分光镜(6)、补偿镜(7)、参考反射镜(8)和PZT调节器(9)依次设置在与第一光轴平行的第二光轴上，同时反射镜(4)、第二分光镜(6)和样品台(11)还依次位于垂直于第一光轴的第三光轴上；所述CCD摄像机(12)还依次与图像捕获器(13)、计算机(14)、可控样品台(11)、PZT驱动(10)和PZT调节器(9)相连接。
2.根据权利要求1所述的一种大口径单层薄膜厚度全场检测装置，其特征在于：在所述扩束器(3)和第一准直镜(5)之间设置有反射镜(4)。
3.根据权利要求1所述的一种大口径单层薄膜厚度全场检测装置，其特征在于：所述光源系统(1)中的激光光源是He-Ne激光器或YAG倍频激光器。
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