[实用新型]一种真空压力控制器无效
| 申请号： | 201020173910.7 | 申请日： | 2010-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN201780511U | 公开（公告）日： | 2011-03-30 |
| 发明（设计）人： | 孙宝云;董金泉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院高能物理研究所 |
| 主分类号： | G05D16/06 | 分类号： | G05D16/06 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 吕俊清 |
| 地址： | 100049 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 压力 控制器 | ||
1.一种真空压力控制器，用来控制仪器系统(1)的真空度或压力，其特征在于，包括：
密封在密封盒(2)中的两个真空度控制单元或压力控制单元(3、4)；
与所述第一个真空度控制单元或压力控制单元(3)相连的抽气电磁阀(5)，所述抽气电磁阀(5)还连接有抽气管路(7)；
与所述第二个真空度控制单元或压力控制单元(4)相连的进气电磁阀(6)，所述进气电磁阀(6)还连接有进气管路(8)；
为所述真空控制器供电的电源(12)；
其中所述真空控制器的所述抽气电磁阀(5)、第一个真空度控制单元或压力控制单元(3)、第二个真空度控制单元或压力控制单元(4)以及进气电磁阀(6)分别通过连通管路(91、92、93、94)与所述仪器系统(1)连接。
2.根据权利要求1所述的真空压力控制器，其特征在于，所述真空度控制单元为电接点真空表。
3.根据权利要求1所述的真空压力控制器，其特征在于，所述压力控制单元为电接点压力表。
4.根据权利要求1所述的真空压力控制器，其特征在于，所述两个真空度控制单元或压力控制单元(3、4)分别通过电缆线与所述抽气电磁阀(5)和所述进气电磁阀(6)相连；所述真空压力控制器还包括安装在密封盒(2)上两个真空电缆接头(10、11)；
其中密封盒(2)内的所述第一个真空度控制单元或压力控制单元(3)的电缆线通过所述第一个真空电缆接头(10)与密封盒(2)外的所述抽气电磁阀(5)的电缆线相连；
其中密封盒(2)内的所述第二个真空度控制单元或压力控制单元(4)的电缆线通过所述第一个真空电缆接头(11)与密封盒(2)外的所述进气电磁阀(6)的电缆线相连。
5.根据权利要求1所述的真空压力控制器，其特征在于，所述真空压力控制器还包括安装在密封盒(2)上的两个管路密封接口(13、14)；
其中所述第一个真空度控制单元或压力控制单元(3)通过第一个管路密封接口(13)与所述连通管路(92)相连；
其中第二个真空度控制单元或压力控制单元(4)通过第二个管路密封接口(14)与所述连通管路(93)相连。
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