[实用新型]一种副炉开门式单晶炉

说明书

技术领域：

本实用新型涉及一种副炉开门式单晶炉。

背景技术：

现有单晶炉副炉结构多为炮筒式结构，无法彻底除尘，必须上升副炉并旋转副炉才能取出单晶棒，操作空间较大，不便操作，也不方便中途掺杂及二次投料；主、副炉隔离装置多为翻盖式隔离装置，所以必须加大炉体高度，致使炉体占用空间较大，不便操作；现有单晶炉主炉冷却夹层结构简单，其内部各部分冷却液温度高低分布不均，对冷却效果有较大影响，影响设备使用寿命；同时，当生产过程中炉压过大，容易使炉内气体喷射出来，导致危险发生，现有单晶炉无安全防护措施或安全防护措施过于简单，所以完善安全防护装置极为重要。

发明内容：

本实用新型提供一种副炉开门式单晶炉，其方便了生产过程中的取晶、副炉清理、中途掺杂及二次投料，降低炉体高度，提高主副炉隔离性能，改善了冷却效果，进一步完善防护措施，确保了安全生产。

本实用新型是通过如下技术方案来实现的：一种副炉开门式单晶炉，其炉体从上至下的主要部件依次为：储存仓、副炉、炉盖、主炉、炉底板，其特征在于：副炉的正面设有副炉开门装置，副炉的下端设有旋转式隔离阀装置，炉盖与主炉的连接处设有防护挡板，主炉冷却夹层内设有由下至上环绕主炉并以螺旋形式分布的螺旋式水道，与主炉下部连接的两只真空管端面分别设有两只相同的防爆阀门。

所述的副炉开门装置包括炉门、锁紧扳手、密封条、锁紧钩、锁紧连杆、门铰链，其中炉门在副炉正面，并通过门铰链与副炉连接，锁紧扳手在副炉下端并与锁紧连杆连接，锁紧连杆与锁紧钩连接。

所述的炉门形状为长方形，其内部设有门冷却夹层，其外侧下部设有门进水口、观察孔、门扶手，其外侧上部设有门出水口，其侧面设有保险钩，密封条为环形并设于炉门上。

所述的旋转式隔离阀装置包括水平阀板、阀仓、阀柄、阀转轴、冷却水管、旋转阀密封圈，水平阀板和冷却水管都与阀转轴相连接，其中冷却水管在水平阀板上部，阀柄与阀转轴连接，阀仓在副炉下端右侧。

所述的螺旋式水道分别连接主炉进水口和主炉出水口，并围绕主炉螺旋式排列。

所述的防护板为圆弧状，并通过螺栓固定于炉盖法兰上。

所述的防爆阀门包括安全阀盖、安全阀座、防爆阀密封圈、轴销，其中安全阀座与真空管端面连接，轴销分别与安全阀座和安全阀盖连接，并安全阀盖在安全阀座上部，密封圈位于安全阀座和安全阀盖之间。

本实用新型的有益效果是：采用副炉开门装置方便了从副炉室内取出晶体、清理沉积废物，防止在生产过程中废物对晶体的沾污，提高产品质量；采用旋转式隔离阀装置降低了整个炉体的高度，改善了主炉与副炉的隔离效果，提高隔离性能；采用螺旋式水道使冷却液进入主炉冷却夹层后，围绕炉体螺旋上升，冷却液不断循环，并能流经主炉冷却夹层的每一部分，使主炉在生产过程中得到均匀的冷却，提高冷却性能，延长设备使用寿命；当炉内有高温气体从炉盖与主炉连接处喷出时，采用防护板可以使高温气体的水平喷射方向改为向下的方向，避免气体水平喷射造成危险，保护操作区。采用防爆阀门可以防止因炉内压力过大导致的危险发生，确保安全生产。

附图说明：

图1为本实用新型的主视图；

图2为图1的左视图；

图3为所述炉门的外侧主视图；

图4为图3的左视图；

图5为所述炉门的内侧主视图；

图6为所述旋转隔离阀装置的主视图；

图7为图6的A-A剖视图；

图8为所述防爆阀门的主视图；

图9为图8的俯视图；

图10为所述防护挡板的主视图；

图11为图10的B-B剖视图。

具体实施方式：