[实用新型]一种单晶炉真空系统过滤器

权利要求书

1.一种单晶炉真空系统过滤器，其包括一个过滤缸，过滤缸由内筒和外筒组成，内筒装有金属过滤网，过滤缸下端与支架连接，过滤缸的侧面和下部分别与气体进口管和气体出口管连接，其特征在于所述过滤缸的顶端设有盖板，盖板上部设有扶手，盖板由三个均布的锁紧盘锁紧，锁紧盘分别链接于三个均布的锁耳上，锁耳与外筒焊接，盖板与外筒上端之间设有密封圈。

2.如权利要求1所述的一种单晶炉真空系统过滤器，其特征在于外筒壁设有水冷冷却夹层，外筒下部和上部分别设有冷却夹层进水口和冷却夹层出水口。