[实用新型]旋转式多晶硅样芯取样钻具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种旋转式多晶硅样芯取样钻具。

背景技术

多晶硅施、受主杂质浓度、电学参数可以通过其生长的单晶锭经检测得到。按照国家标准规定，从有均匀沉积层的多晶硅样棒上取得多晶硅圆柱体(样芯)，经区熔工艺拉制成单晶锭后，检测单晶硅锭晶体的性能，从而监测多晶硅产品性能。传统的取样器是固定在车床的尾架上，多晶硅样棒固定在卡盘上，多晶硅样棒转动，钻具不旋转，这种钻具结构简单，但只能轴向取样，不能检测纵向分布的均匀性，适用于直径小于Φ60mm的多晶硅取样。当直径大于Φ100mm时，多晶硅比较松脆，若用传统的取样器取样，高速偏心旋转造成振动，飞溅的碎块易引发安全事故。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能确保安全取样，并且可以在多晶硅样棒上的平行位置或垂直位置上连续钻取样芯的旋转式多晶硅样芯取样钻具。

本实用新型解决上述问题所采用的技术方案是：旋转式多晶硅样芯取样钻具，包括摇臂钻床、空心钻柄、空心钻头，所述空心钻柄固定于摇臂钻床的主轴箱的旋转结构的末端，空心钻头与空心钻柄固定连接，所述摇臂钻床的工作平台处设有用于固定多晶硅棒的固定结构，多晶硅棒位于空心钻头下方。

所述空心钻头与空心钻柄螺纹连接。

进一步地，还包括密封套、管道，所述密封套套设于空心钻柄外，所述管道一端接通于密封套内，所述管道内的冷却剂通过密封套、空心钻柄进入空心钻头。

所述空心钻头的长度100～300mm。

所述空心钻头的直径为10～30mm。

综上所述，本实用新型的有益效果是：本实用新型的旋转式多晶硅取样装置能确保安全取样，可以避免多晶硅样棒在高速旋转时碎裂飞溅出来造成人身伤害。并且可满足不同的取样方案，在多晶硅样棒上的平行位置或垂直位置上连续钻取样芯，或在一段多晶硅样棒上连续取样，满足对大直径多晶硅取样检验的国家标准要求。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是旋转式多晶硅样芯取样钻具的结构示意图；

图3是多晶硅样棒垂直位置取样示意图；

图4是多晶硅样棒水平位置取样示意图；

图5是图4的俯视图。

附图中标记及相应的零部件名称：1-多晶硅样棒，2-多晶硅样芯，3-空心钻头，4-空心钻柄，5-密封套，6-工作平台，7-摇臂钻床，8-冷却剂，9-管道。

具体实施方式

下面结合实施例及附图，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。

参见图1至图5所示，本实用新型的旋转式多晶硅样芯取样钻具安装在摇臂钻床上，其结构包括空心钻柄4、空心钻头3、密封套5，空心钻头3的刀口用硬质材料，空心钻头3的长度100～300mm，直径Φ10～30mm，空心钻头3用国标GB192-63细牙螺纹固定在空心钻柄4上，密封套5用管道9接通冷却剂8，冷却剂可以经过密封套5、空心钻柄4进入空心钻头3。固定管道9，使得空心钻柄4旋转时，密封套5不旋转。把多晶硅样棒1垂直或水平固定在工作平台6上，通入冷却剂8，保持冷却剂8的压力在0.1～1Mpa，开启摇臂钻床7，使得空心钻头3的转速为30～3000转/分，旋转式多晶硅样芯取样钻具上下位移，安全钻取样芯，满足大直径多晶硅取样检验的国家标准要求。

如上所述，便可较好的实现本实用新型。