[实用新型]多层复合太阳能选择性吸收镀层

权利要求书

1.一种多层复合太阳能选择性吸收镀层，包括设置在透明玻璃基底表面由内而外依次布置的红外反射层(1)，阻热扩散层(2)、吸收层(3)，其特征在于，所述红外反射层(1)是金属铝红外反射层；所述阻热扩散层(2)是TiN氮化钛阻热扩散层；所述吸收层(3)是TiNxOy氮氧化钛选择性吸收层。

2.根据权利要求1所述的多层复合太阳能选择性吸收镀层，其特征在于，还包括减反射保护层(4)；所述减反射保护层(4)，是设置在所述吸收层(3)表面的Al₂O₃三氧化二铝减反射保护层。

3.根据权利要求1所述的多层复合太阳能选择性吸收镀层，其特征在于，所述TiNxOy氮氧化钛选择性吸收层(3)，是TiN_0.7～1.0O_1.0-1.4氮氧化钛选择性吸收层。

4.根据权利要求1所述的多层复合太阳能选择性吸收镀层，其特征在于，所述金属铝红外反射层(1)的厚度，在100～150nm范围内。

5.根据权利要求1所述的多层复合太阳能选择性吸收镀层，其特征在于，所述阻热扩散层(2)的厚度在5～10nm范围内。

6.根据权利要求1所述的多层复合太阳能选择性吸收镀层，其特征在于，所述TiNxOy氮氧化钛选择性吸收层(3)的厚度，在150～200nm范围内。

7.根据权利要求2所述的多层复合太阳能选择性吸收镀层，其特征在于，所述Al₂O₃减反射保护层(4)的厚度，在70～100nm范围内。