[实用新型]多晶硅还原炉无效
申请号: | 201020179013.7 | 申请日: | 2010-04-30 |
公开(公告)号: | CN201952238U | 公开(公告)日: | 2011-08-31 |
发明(设计)人: | 王春龙 | 申请(专利权)人: | 王春龙 |
主分类号: | C01B33/03 | 分类号: | C01B33/03;C30B29/06 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 214100 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 还原 | ||
【权利要求书】:
1.一种多晶硅还原炉,其包括有底座以及其上设置的钟罩形的炉体,其特征是,所述炉体外表面设置有多层螺旋上升的冷却水管。
2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉,其特征是:包括至少一根螺旋均匀间距的设置在所述炉体外表面的基层水管。
3.根据权利要求2所述的多晶硅还原炉,其特征是:所述基层水管与所述炉体外表面焊接。
4.根据权利要求2或3所述的多晶硅还原炉,其特征是:包括至少一根高层水管螺旋均匀间距的设置在所述基层水管的外表面。
5.根据权利要求4所述的多晶硅还原炉,其特征是:所述高层水管与所述基层水管外表面焊接。
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