[实用新型]连续浇铸单晶硅带的设备无效
申请号: | 201020179627.5 | 申请日: | 2010-04-20 |
公开(公告)号: | CN201620208U | 公开(公告)日: | 2010-11-03 |
发明(设计)人: | 李涛;潘庆乐;克诺佩尔·德鲁 | 申请(专利权)人: | 斯必克公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B15/14 |
代理公司: | 上海衡方知识产权代理有限公司 31234 | 代理人: | 卞孜真 |
地址: | 美国北卡罗来纳州夏洛*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 连续 浇铸 单晶硅 设备 | ||
1.一种设备,用于形成硅带,该设备包括:
一坩锅,被设置为容纳硅熔融物;
一管道,与坩锅相邻并被设置为允许熔融物流经其中;
一管道加热系统,与管道相邻并被设置为控制流经管道的熔融物的温度;以及
一固定器,被设置为支撑硅种晶与熔融物接触并进一步被设定为沿大致水平方向移动硅种晶。
2.如权利要求1所述的设备,进一步包括:
一隔热腔,坩锅被容纳在隔热腔内。
3.如权利要求2所述的设备,其中管道和管道加热元件被容纳在隔热腔内。
4.如权利要求2所述的设备,进一步包括:
一进气口,被设置为将保护性气体导入隔热腔。
5.如权利要求2所述的设备,进一步包括:
一真空泵,被设置为在隔热腔内制造真空。
6.如权利要求1所述的设备,进一步包括:
一热控制区域,与管道相邻并被设置为在熔融物固化之后热处理熔融物。
7.如权利要求1所述的设备,进一步包括:
一切割系统,与管道相邻并被设置为在熔融物固化之后切割熔融物。
8.如权利要求1所述的设备,进一步包括:
一牵引系统,与管道相邻并被设置为沿大致水平方向牵引熔融物的固化部分。
9.如权利要求1所述的设备,进一步包括:
一坩锅加热系统,与坩锅相邻并被设置为将硅熔融物维持在液体状态。
10.一种设备,用于形成硅带,该设备包括:
用于加热硅以形成熔融物的装置;
用于将部分熔融物沿大致水平方向导出加热用装置的装置;
用于当部分用加热用装置移出时控制部分熔融物如何快速冷却的装置;以及
用于促进单晶硅形成的装置,其中用于促进的装置被放置为当部分熔融物从加热用装置移出并固化时与部分熔融物接触。
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