[实用新型]半导体太阳能镀膜工艺腔室的承受器有效
| 申请号： | 201020179748.X | 申请日： | 2010-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN201708179U | 公开（公告）日： | 2011-01-12 |
| 发明（设计）人： | 张浩;尤长林;李长江 | 申请（专利权）人： | 江苏综艺光伏有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/20 | 分类号： | H01L31/20;C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 张惠忠 |
| 地址： | 226300 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 太阳能 镀膜 工艺 承受 | ||
【权利要求书】：
1.一种半导体太阳能镀膜工艺腔室的承受器，包括加热层以及设置在加热层上端的热量分配层，其特征在于：在所述的热量分配层上端还设置有一可拆卸的表面层。
2.根据权利要求1所述的半导体太阳能镀膜工艺腔室的承受器，其特征在于：所述的表面层的下端设置有凸起，在所述的热量分配层上端设置有凹槽，所述的表面层嵌入所述的热量分配层。
3.根据权利要求1或2所述的半导体太阳能镀膜工艺腔室的承受器，其特征在于：所述的表面层为石墨层。
3、根据权利要求1或2所述的半导体太阳能镀膜工艺腔室的承受器，其特征在于：在所述的加热层下端还设置有底部背板层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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