[实用新型]石英振子腐蚀液无轴自动搅拌机有效

专利信息
申请号: 201020180556.0 申请日: 2010-04-30
公开(公告)号: CN201669077U 公开(公告)日: 2010-12-15
发明(设计)人: 卢春田;宋学忠;董恩信;周宝林 申请(专利权)人: 唐山晶源裕丰电子股份有限公司
主分类号: B01F13/08 分类号: B01F13/08;B01F3/08
代理公司: 唐山永和专利商标事务所 13103 代理人: 张云和
地址: 064100 河北*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 石英 腐蚀 液无轴 自动 搅拌机
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及石英晶片压电振子加工设备,特别是一种石英振子腐蚀液无轴自动搅拌机。

背景技术

目前,对石英晶体谐振器的核心零件——石英晶片压电振子外形轮廓尺寸腐蚀加工过程中,主要采用不同浓度、温度的NH4HF2(氟化氢氨)腐蚀液(腐蚀液靠水浴热传导加温),对不同规格、频率、形状的石英晶片压电振子进行腐蚀加工,以得到所需要的频率及表面光洁度以提高其振动活力;腐蚀液在腐蚀晶片过程中,其浓度、温度局部会发生变化,特别是温度局部变化较大,腐蚀液产生温差对晶片均匀腐蚀影响很大。为使保持腐蚀液的浓度、温度相对均匀稳定,需对腐蚀液进行不停的搅动,以其调整腐蚀液的浓度和温度,搅拌器采用与外部直接连接,极易使液体泄露造成环境腐蚀和污染。

发明内容

本实用新型旨在解决现有技术存在的上述问题,而提供一种隔层无轴传动搅拌叶轮对腐蚀液不停搅拌,实现腐蚀液的浓度、温度保持相对稳定,以提高晶片腐蚀均匀度、降低晶片腐后频率散差的石英振子腐蚀液无轴自动搅拌机。

本实用新型采用的技术方案是:一种石英振子腐蚀液无轴自动搅拌机,包括水浴温控槽、腐蚀液槽、腐蚀篮、温控加热管,腐蚀液槽置于盛有传热介质水并安装有温控加热管的水浴温控槽内,该水浴温控槽的槽外下方设置有由程控减速机带动旋转的两极磁头,该腐蚀液槽的槽内设置有与该两极磁头磁力配合的磁化搅拌叶轮。所述两极磁头通过程序控制单元控制做旋转运动,将NS极磁力线隔层传导给腐蚀液槽内的磁化搅拌叶轮。在NS极磁力线的作用下,磁化搅拌叶轮对槽内腐蚀液进行旋转搅动,使其槽内腐蚀液沿槽壁不停做旋转运动,从而带动槽壁的热量不断向槽中间温度低的地方置换;其一以达到槽内腐蚀液的浓度、温度保持相对稳定的目的;其二腐蚀液旋转运动可促使晶片在腐蚀过程中不停的翻动,使其达到晶片腐蚀均匀的效果。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:从根本上杜绝了腐蚀液泄露对环境的腐蚀和污染,且保持了腐蚀液的浓度、温度相对均匀稳定,有效提高了晶片腐蚀均匀度,降低了晶片腐后频率散差。本实用新型结构简单,为谐振器制造后序的频率分挡、镀膜工序创造了良好条件,提高了分频、镀膜设备的利用率,减少了产品废、次品的产生,有效提高了谐振器最终合格率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图中:石英晶片1;腐蚀篮2;腐蚀液槽3;温控加热管4;磁化搅拌叶轮5;控制单元6;程控减速机7;两极磁头8;水浴温控槽9;腐蚀液10;传热介质水11;腐蚀篮控制臂12。

具体实施方式

以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。

参见图1,本实施例给出的石英振子腐蚀液无轴自动搅拌机,由腐蚀篮2、腐蚀液槽3、温控加热管4、磁化搅拌叶轮5、控制单元6、程控电机7、两极磁头8、水浴温控槽9组成,腐蚀液槽3置于盛有传热介质水11并安装有温控加热管4的水浴温控槽9内,水浴温控槽9的槽外下方设置有由程控减速机7带动旋转的两极磁头8,腐蚀液槽3的槽内设置有与该两极磁头8磁力配合的磁化搅拌叶轮5,腐蚀篮2及置于其内的石英晶片1浸于腐蚀液槽3内的腐蚀液10中。

本实施例中,所述腐蚀篮2固定在带动其上、下行程和左、右摆动的腐蚀篮控制臂12上。

本实施例中,所述程控减速机7、温控加热管4及腐蚀篮控制臂12均与控制单元6电连接。

本实用新型工作时,两极磁头8由控制单元6程序控制的控减速机7拖动使其旋转,磁化搅拌叶轮5在两极磁头8磁力线的作用下,随其两极磁头8同步旋转,搅动腐蚀液10沿腐蚀液槽3槽壁形成漩涡旋转;传热介质水11被温控加热管4加热,并不断传导给腐蚀液槽3槽壁,槽壁的热量被旋转的腐蚀液10吸收,起到腐蚀液10不断加热保持恒温的作用。同时,在腐蚀篮控制臂12的带动下,腐蚀篮2进行上、下行程和左、右摆动,使石英晶片1在腐蚀过程中不停的翻动以达到腐蚀均匀的目的。控制单元6除控制程控减速机7的运动外,还同时对腐蚀篮控制臂12和温控加热管4进行程序控制。

本实用新型所述磁化搅拌叶轮5,也可根据腐蚀液槽3大小不同,而改变成直经不同的磁化搅拌叶轮、或长度和直经不同的耐腐磁化搅拌棒。

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