[实用新型]化学试剂供应装置

权利要求书

1.一种化学试剂供应装置，其特征在于，包括：

回收管路，其一端连接储存有化学试剂的供应单元，另一端连接储液单元；

第一供气管路，其一端连接所述储液单元，另一端连接第一三通接头；

第二供气管路，其一端连接所述第一三通接头，另一端连接气体供应单元；

第一排气管路，其一端连接所述第一三通接头，另一端连接气体排放单元。

2.如权利要求1所述的化学试剂供应装置，其特征在于，所述第一排气管路上设置有第一排气控制阀。

3.如权利要求1所述的化学试剂供应装置，其特征在于，还包括第二排气管路，其一端连接所述储液单元，其另一端连接废气排放单元。

4.如权利要求3所述的化学试剂供应装置，其特征在于，所述第二排气管路上设置有第二排气控制阀。

5.如权利要求1所述的化学试剂供应装置，其特征在于，所述第二供气管路上设置有第二供气控制阀。

6.如权利要求1至5中任意一项所述的化学试剂供应装置，其特征在于，所述回收管路包括：

第一输液管路，其一端连接所述供应单元，另一端连接第二三通接头；

第二输液管路，其一端连接所述第二三通接头，另一端连接第三三通接头，

第三输液管路，其一端连接所述第三三通接头，另一端连接第四三通接头；

第四输液管路，其一端连接所述第四三通接头，另一端连接所述储液单元。

7.如权利要求6所述的化学试剂供应装置，其特征在于，所述第一输液管路上设置有法兰。

8.如权利要求6所述的化学试剂供应装置，其特征在于，所述第一输液管路上还设置有第一输液手动阀。

9.如权利要求6所述的化学试剂供应装置，其特征在于，所述第一输液管路上还设置有第一输液气动阀。

10.如权利要求6所述的化学试剂供应装置，其特征在于，所述第二输液管路上设置有第二输液控制阀。

11.如权利要求6所述的化学试剂供应装置，其特征在于，所述第三输液管路上设置有第一过滤单元。

12.如权利要求6所述的化学试剂供应装置，其特征在于，所述第四输液管路上设置有第四输液控制阀。

13.如权利要求6所述的化学试剂供应装置，其特征在于，还包括第五输液管路，其一端连接所述储液单元，另一端连接所述第三三通接头。

14.如权利要求13所述的化学试剂供应装置，其特征在于，所述第五输液管路上设置有第五输液控制阀。

15.如权利要求13所述的化学试剂供应装置，其特征在于，所述第五输液管路上还设置有泵。

16.如权利要求13所述的化学试剂供应装置，其特征在于，所述第五输液管路还设置有气液分离单元。

17.如权利要求16所述的化学试剂供应装置，其特征在于，还包括第三排气管路，其一端连接所述气液分离单元，其另一端连接所述气体排放单元。

18.如权利要求17所述的化学试剂供应装置，其特征在于，所述第三排气管路上设置有第三排气控制阀。

19.如权利要求6所述的化学试剂供应装置，其特征在于，还包括第六输液管路，其一端连接所述第四三通接头，另一端连接所述供应单元。

20.如权利要求19所述的化学试剂供应装置，其特征在于，所述第六输液管路上设置有第六输液控制阀。

21.如权利要求6所述的化学试剂供应装置，其特征在于，还包括第七输液管路，其一端连接所述第二三通接头，另一端连接使用端。

22.如权利要求21所述的化学试剂供应装置，其特征在于，所述第七输液管路上设置有第二过滤单元。

23.如权利要求21所述的化学试剂供应装置，其特征在于，所述第七输液管路上还设置有第七输液控制阀。

24.如权利要求21所述的化学试剂供应装置，其特征在于，所述第七输液管路上还设置有阀箱。