[实用新型]一种气浮式定位平台

权利要求书

1.一种气浮式定位平台，包括底座(1)、工作台(4)和两块支撑板(3)，所述的两块支撑板(3)平行设置在底座(1)上并与底座(1)固连，所述的工作台(4)设置在底座(1)上，其特征在于，所述的工作台(4)和底座(1)之间设有能使工作台(4)沿Y方向上移动的气浮导轨一(7)和能使工作台(4)沿X方向上移动的气浮导轨二(8)，气浮导轨一(7)与气浮导轨二(8)设置成T型结构，所述的气浮导轨一(7)设置在两块支撑板(3)之间，且两端分别与支撑板(3)固连，在底座(1)上设有真空载荷空气轴承(6)，气浮导轨二(8)位于真空载荷空气轴承(6)上。

2.如权利要求1所述的气浮式定位平台，其特征在于，所述的气浮导轨一(7)外套接有两个气浮套(9)，所述的气浮套(9)以气浮导轨二(8)为中心对称设置，所述的气浮导轨二(8)的一端连接在两个气浮套(9)上。

3.如权利要求1所述的气浮式定位平台，其特征在于，所述的气浮导轨二(8)外套接有一个气浮套(9)，上述的工作台(4)设置在气浮套(9)上。

4.如权利要求1或2或3所述的气浮式定位平台，其特征在于，所述的底座(1)上设有定位连接块(10)，上述的气浮导轨二(8)的另一端与定位连接块(10)固连。

5.如权利要求4所述的气浮式定位平台，其特征在于，所述的定位连接块(10)与气浮导轨一(7)的气浮套(9)之间设有两根滑轨(11)，所述的滑轨(11)与气浮导轨二(8)平行设置并对称的分布在气浮导轨二(8)的两侧，一端连接在气浮套(9)上，另一端与定位连接块(10)固连。

6.如权利要求5所述的气浮式定位平台，其特征在于，所述的气浮导轨二(8)与气浮导轨一(7)的气浮套(9)之间设有连接板(5)，所述的连接板(5)与气浮导轨一(7)上的气浮套(9) 固连，上述的气浮导轨二(8)、滑轨(11)的一端固连在连接板(5)上。

7.如权利要求2或3所述的气浮式定位平台，其特征在于，所述的气浮套(9)上连接有驱动装置和反馈装置，所述的驱动装置和反馈装置形成闭环系统。

8.如权利要求7所述的气浮式定位平台，其特征在于，所述的驱动装置为压电陶瓷电机(15)。

9.如权利要求7所述的气浮式定位平台，其特征在于，所述的反馈装置包括光栅条(16)和光栅检测头(17)。