[实用新型]直拉硅单晶炉装置

权利要求书

1.一种直拉硅单晶炉装置，其包括副室(1)、炉腔(16)、热屏支撑板(6)、热屏(7)、保温层(15)、石英坩埚(10)、石墨坩埚(11)、加热器(13)，其特征在于，在炉腔(16)中硅熔体(14)的上方设置一个两端开口的罩体(5)，所述罩体(5)沿着单晶硅生长的方向、且罩体(5)的开口正对着单晶硅的方向设置，罩体(5)与硅熔体(14)液面接近的一端与硅熔体(14)液面具有一间距。

2.根据权利要求1所述的直拉硅单晶炉装置，其特征在于，所述罩体(5)与炉腔(16)或/和副室(1)相连接。

3.根据权利要求2所述的直拉硅单晶炉装置，其特征在于，所述罩体(5)的上端与炉腔(16)或副室(1)相连接。

4.根据权利要求2或3所述的直拉硅单晶炉装置，其特征在于，所述罩体(5)的上端与副室(1)相连接。

5.根据权利要求1所述的直拉硅单晶炉装置，其特征在于，所述罩体(5)与硅熔体(14)液面接近的一端与硅熔体(14)液面的距离为大于0、且小于100mm。

6.根据权利要求1所述的直拉硅单晶炉装置，其特征在于，所述的罩体(5)的形状为长筒形。

7.根据权利要求6所述的直拉硅单晶炉装置，其特征在于，所述的长筒形的罩体(5)的横截面为棱形、圆柱形或椭圆的柱体。

8.根据权利要求7所述的直拉硅单晶炉装置，其特征在于，所述的长筒形的罩体(5)的横截面为圆柱形的柱体。

9.根据权利要求1所述的直拉硅单晶炉装置，其特征在于，所述的罩体(5)是由一段、或两段以上的罩体组合而成。