[实用新型]用于离子束成形的收敛多极离子导向件有效

专利信息
申请号: 201020186202.7 申请日: 2010-04-28
公开(公告)号: CN201918357U 公开(公告)日: 2011-08-03
发明(设计)人: 詹姆斯·L·博特迟;迈克尔·尤加戊 申请(专利权)人: 安捷伦科技有限公司
主分类号: H01J49/06 分类号: H01J49/06;H01J49/42
代理公司: 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 代理人: 柳春雷;南霆
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 用于 离子束 成形 收敛 多极 离子 导向
【权利要求书】:

1.一种多极离子导向件,其特征在于包括:

围绕轴线而布置的杆,各根杆具有第一末端和远离所述第一末端的第二末端,其中,各根杆被布置为在所述第一末端处离所述轴线的相应距离大于在所述第二末端处离所述轴线的距离;

用于在相邻的杆对之间施加射频(RF)电压的装置,其中,所述RF电压在这些杆之间的区域中产生多极场;以及

用于沿着各根杆的长度施加直流(DC)电压降的装置。

2.如权利要求1所述的多极离子导向件,其中,所述杆的第一末端围绕所述轴线基本对称地布置。

3.如权利要求1所述的多极离子导向件,其中,所述杆的第二末端在所述第二末端处围绕所述轴线基本对称地布置。

4.如权利要求1所述的多极离子导向件,其中,所述第一末端围绕具有第一半径的第一圆而布置,所述第二末端围绕具有第二半径的第二圆而布置,并且所述第一半径大于所述第二半径。

5.如权利要求1所述的多极离子导向件,其中,所述杆的第一末端围绕具有第一半径的第一圆而布置,两根杆的第二末端沿着具有第二半径的第二圆的直径而布置,并且其余杆的第二末端布置在所述第二圆内。

6.如权利要求5所述的多极离子导向件,其中,所述其余杆的第二末端沿着第一条线和第二条线布置成彼此相对的对。

7.如权利要求6所述的多极离子导向件,其中,沿着所述第一条线的所述其余杆的第二末端彼此间隔第一距离,沿着所述第二条线的所述其余杆的第二末端彼此间隔所述第一距离,并且所述其余杆的各个彼此相对的对的第二末端间隔第二距离,所述第二距离大于所述第一距离。

8.如权利要求7所述的多极离子导向件,其中,所述杆作为第一杆,并且所述离子导向件还包括与所述第一杆串联的第二杆。

9.如权利要求8所述的多极离子导向件,其中,所述第二杆通过间隙而与所述第一杆的第二末端分离。 

10.如权利要求9所述的多极离子导向件,其中,所述第一杆布置在第一室中,所述第二杆布置在第二室中,并且所述第二室处于比所述第一室低的压力。

11.如权利要求1所述的多极离子导向件,其中,所述杆的第一末端布置在第一室中,所述杆的第二末端布置在第二室中,并且所述第二室处于比所述第一室低的压力。

12.如权利要求1所述的多极离子导向件,其中,多根杆中的每一根在所述第一末端处具有第一直径并在所述第二末端处具有第二直径,并且所述第一直径大于所述第二直径。

13.如权利要求1所述的多极离子导向件,其中,每根杆包括多个分段。

14.如权利要求13所述的多极离子导向件,其中,所述第一末端处相邻杆对的分段之间的RF电压的幅度大于所述第二末端处相邻杆对的分段之间的RF电压的幅度。

15.一种包括多极离子导向件的质谱系统,其特征在于所述多极离子导向件包括:

围绕轴线而布置的杆,各根杆具有第一末端和远离所述第一末端的第二末端,其中,各根杆被布置为在所述第一末端处离所述轴线的相应距离大于在所述第二末端处离所述轴线的距离;

用于在相邻的杆对之间施加射频(RF)电压的装置,其中,所述RF电压在杆之间的区域中产生多极场;以及

用于沿着各根杆的长度施加直流(DC)电压降的装置。

16.如权利要求15所述的质谱系统,其中,所述第一末端围绕具有第一半径的第一圆而布置,所述第二末端围绕具有第二半径的第二圆而布置,并且所述第一半径大于所述第二半径。

17.如权利要求15所述的质谱系统,其中,所述杆的第一末端围绕具有第一半径的第一圆而布置,两根杆的第二末端沿着具有第二半径的第二圆的直径而布置,并且其余杆的第二末端布置在所述第二圆内。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安捷伦科技有限公司,未经安捷伦科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201020186202.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top