[实用新型]溅镀降温的载具有效
申请号: | 201020186650.7 | 申请日: | 2010-05-07 |
公开(公告)号: | CN201713570U | 公开(公告)日: | 2011-01-19 |
发明(设计)人: | 刘启志;王小龙 | 申请(专利权)人: | 上海承哲光电科技有限公司;柏腾科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人: | 翟羽 |
地址: | 200000 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 降温 | ||
【技术领域】
本实用新型涉及一种改善溅镀时载具过热的结构,特别是关于一种溅镀降温的载具。
【背景技术】
在现今各种电子相关产业中,电磁干扰(EMI,ElectromagneticInterference)的防护,对电子相关产业而言是重要的课题之一。目前常用的防制电磁干扰(EMI,Electromagnetic Interference)加工技术,包括有导电漆、金属铁片、电镀、真空溅镀法和铝镁合金等,其中由于真空溅镀具价格绝对优势,无环保问题,且相较其他工法更为轻薄(0.3~0.5μm),被视为是未来发展的趋势。然而,在对标的工件进行溅镀的过程中,会对运载标的工件的载具造成受热升温的作用。当载具蓄积过多热量时,会使接触到载具的标的工件受热而变形或毁损。因此,受热过多的载具需进行静置冷却,同时需要准备多个载具进行替换使用。此种作法,就工艺而言更为繁复,且也可能更为耗费材料及成本。
【发明内容】
为了解决于一定时间内过度使用载具,以及载具替换使用所带来的不便及其他缺点,本实用新型的一个目的即是提供一种溅镀降温的载具。
本实用新型为解决现有技术的问题所采用的技术手段为:一种溅镀降温的载具,包括:一基体,具有一承载面,用以置放一欲进行溅镀的标的工件;一冷却管路,配置于基体中且对应于基体的承载面,冷却管路具有至少一开孔,且开孔开设于基体的侧缘,可经由冷却管路的开孔注入一冷却剂,以在进行溅镀时降低基体的温度,减少标的工件受到载具因溅镀引起的高温的影响。
本实用新型的一个实施例在冷却管路的开孔连接有快速接头,并外接一冷却剂供应源以形成一散热系统。
本实用新型的另一实施例将冷却剂封装于管体中,且管体的管径洽对应于冷却管路的管径大小,恰可将封装有冷却剂的管体装入冷却管路中。
通过本实用新型所采用的技术手段,可有效地使溅镀时载具的温度维持于基本受热的安全值内,省去将载具进行静置冷却的程序,且无需需要准备多个供替换使用的载具。不但使溅镀工艺更为简便,且也省去了准备大量替换载具可能耗费的成本。
【附图说明】
图1为本实用新型溅镀降温的载具第一实施例的立体图;
图2为本实用新型溅镀降温的载具第一实施例的俯视图;
图3为本实用新型溅镀降温的载具第二实施例的立体图;
图4为本实用新型溅镀降温的载具第二实施例的分解俯视图;
图5为本实用新型溅镀降温的载具第二实施例的结合俯视图。
主要元件符号说明:
100、200载具 22a第一管路
1基体 22b第二管路
11承载面 3a、3b快速接头
2a、2b冷却管路 4冷却剂供应源
21a、21b开孔 5a、5b管体
【具体实施方式】
同时参阅图1至图2,图1为本实用新型溅镀降温的载具第一实施例的立体图,图2为本实用新型第一实施例的俯视图。
如图1所示,本实用新型溅镀降温的载具100包括一基体1及一冷却管路2a。基体1具有一承载面11,可用以置放一欲进行溅镀的标的工件。本实施例的冷却管路2a配置于基体1中,呈曲线型分布且对应于基体1的承载面11,本实施例的曲线型分布的形态仅为举例说明,其弯曲弧度、形状及弯折次数并非仅限于此。冷却管路2a分别具有一开孔21a、21b,且开孔21a、21b开设于基体1的侧缘,可通过冷却管路2a的开孔21a或开孔21b注入冷却剂,以在进行溅镀时降低基体1的温度,减少标的工件受到载具100因溅镀引起的高温的影响。
如图2所示,冷却管路2a的开孔21a、21b分别连接有一快速接头3a、3b,可用于外接一冷却剂供应源4以形成一散热系统。将冷却剂经由冷却管路2a的开孔21a输入,使溅镀时载具100产生的高温及大量热能,经由冷却管路2a中的冷却剂由开孔21b输出并带走,避免载具100的基体1因温度过高而影响到进行溅镀的标的工件,例如标的工件因高温产生变形或者遭到毁损。
参阅图3,为本实用新型溅镀降温的载具第二实施例的立体图。如图所示,本实施例的载具200大致上与第一实施例相似,其中相同的元件不再重复进行说明。与第一实施例不同之处在于,载具200的冷却管路2b由一第一管路22a及一第二管路22b所组成,呈直线型分布于基体1中。在本实施例中,冷却管路2b的管径大小、深度及管路数目仅为举例说明,并非仅限于此。
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