[实用新型]自动光学检测系统

说明书

技术领域

本实用新型有关于一种自动光学检测系统，特别是一种可校正扫描影像位移的自动光学检测系统。

背景技术

自动光学检测(Automated Optical Inspection，AOI)系统已广泛应用于外观检测上，例如薄膜晶体管液晶显示器(TFT LCD)、半导体芯片与印刷电路板(PCB)等工业工艺上。自动光学检测系统是利用光学方式取得待测产品的表面影像后，再以影像处理技术来检出异物或图案异常等缺陷。

由于影像撷取装置的视野小于待测产品的面积，因此，影像撷取装置需扫描过整个待测产品，以便将整个待测产品成像。然而，在扫描的过程中，待测产品可能产生晃动，使所形成的扫描影像有影像位移的情形，因而不利于后续判定缺陷的程序。

综上所述，如何校正产生影像位移的扫描影像便是目前极需努力的目标。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种自动光学检测系统，其是设置适当的基准标记，使扫描待测样品后所形成的扫描影像中具有相对应的基准标记，再利用基准标记校正所形成扫描影像，以利后续判定待测样品是否存在缺陷。

本实用新型的自动光学检测系统，包含：

一影像撷取装置，其用以撷取一待测样品的影像；

一基准标记分析单元，其与该影像撷取装置电性连接，用以找出该影像中的一基准标记；

一影像校正单元，其与该基准标记分析单元电性连接，用以依据该基准标记校正该影像并输出一校正影像；以及

一缺陷分析单元，其与该影像校正单元电性，用以分析该校正影像是否存在缺陷。

在上述自动光学检测系统中，该基准标记包含一基准线，其绘制于该待测样品的检测表面。

在上述的自动光学检测系统中，还包含一检测平台，其用以承载该待测样品，其中该基准标记设置于该检测平台。

在上述的自动光学检测系统中，该基准标记包含直线、刻度或以上的组合。

在上述的自动光学检测系统中，该基准标记包含一光源，其与该影像撷取装置相对。

在上述的自动光学检测系统中，该影像撷取装置包含一线性影像传感器。

在上述的自动光学检测系统中，该影像撷取装置包含一电荷耦合组件、互补式金属氧化物半导体传感器或接触式影像传感器。

在上述的自动光学检测系统中，该基准标记分析单元、该影像校正单元以及该缺陷分析单元整合成一电子装置。

在上述的自动光学检测系统中，该待测样品包含一布料。

本实用新型的自动光学检测系统藉由设置适当的基准标记，使扫描待测样品后所形成的扫描影像中具有相对应的基准标记，后续影像处理过程即可利用基准标记来校正所形成扫描影像，并判定待测样品是否存在缺陷。

以下藉由具体实施例配合所附的图式详加说明，当更容易了解本实用新型的目的、技术内容、特点及其所达成的功效。

附图说明

图1为一示意图，显示本实用新型一实施例的自动光学检测系统。

图2a为一示意图，显示本实用新型一实施例的自动光学检测系统所撷取的原始扫描影像。

图2b为一示意图，显示本实用新型一实施例的自动光学检测系统所撷取的校正扫描影像。

图3为一示意图，显示本实用新型另一实施例的自动光学检测系统。

图4a为一示意图，显示本实用新型另一实施例的自动光学检测系统所撷取的原始扫描影像。

图4b为一示意图，显示本实用新型另一实施例的自动光学检测系统所撷取的校正扫描影像。

主要组件符号说明

10电子装置

11影像撷取装置

12基准标记分析单元

13影像校正单元

14缺陷分析单元

20检测平台

30待测样品

31、31’基准标记

40影像片段

420检测平台影像

430待测样品影像

431、431’基准标记影像

具体实施方式