[实用新型]真空动密封精确传动机构

权利要求书

1.一种真空动密封精确传动机构，包括齿轮轴、提供真空环境的真空腔体及位于所述真空腔体外的动密封组件、动密封组件固定座、第一联轴器、电机、电机固定座，所述动密封组件固定座的一端固定在所述真空腔体的侧壁上，所述动密封组件固定座的另一端与所述电机固定座固定连接，所述动密封组件固定座开设有空腔，所述动密封组件固定在所述动密封组件固定座上并容置在所述空腔内，所述第一联轴器容置在所述空腔内并位于所述动密封组件与所述电机固定座之间，所述电机固定座上开设有安装孔，所述电机固定在所述电机固定座上，所述电机具有输出轴，所述输出轴穿过所述安装孔与所述第一联轴器连接，所述真空腔体的侧壁对应所述动密封组件的部位开设有通孔，所述齿轮轴的一端与所述第一联轴器连接，另一端穿过所述动密封组件及所述通孔伸入至真空腔体内，所述齿轮轴分别与所述动密封组件及通孔枢接，其特征在于，还包括有测速组件，所述测速组件包括光电传感器、感应片及传感器固定座，所述传感器固定座固定在所述电机固定座上，所述光电传感器固定在所述传感器固定座上，所述光电传感器的一侧的两端水平凸伸形成两检测臂，所述检测臂穿过所述动密封组件固定座并深入所述空腔内，所述感应片同轴固定在所述齿轮轴上并位于所述光电传感器的两检测臂之间，所述感应片上开设有通槽，所述光电传感器从一检测臂的一端发送光信号至另一检测臂。

2.如权利要求1所述的真空动密封精确传动机构，其特征在于，还包括有第二联轴器、联动轴、波纹管、第一波纹管固定座、第二波纹管固定座及至少两支柱，所述第二联轴器、波纹管、第一波纹管固定座、第二波纹管固定座及所述支柱均设置在所述真空腔体与动密封组件固定座之间，所述动密封组件固定座通过所述支柱与所述真空腔体的侧壁固定连接，所述第一波纹管固定座固定在所述真空腔体的侧壁上，所述第二波纹管固定座固定在所述动密封组件固定座上，所述波纹管一端与所述第一波纹管固定座固定连接，另一端与所述第二波纹管固定座固定连接，所述第二联轴器悬设在所述波纹管内，所述齿轮轴位于真空腔体外的一端与所述第二联轴器固定连接，所述联动轴的一端与所述第二联轴器固定连接，另一端穿过所述动密封组件并与所述第一联轴器固定连接，所述联动轴与所述动密封组件枢接，所述感应片固定在所述联动轴上。

3.如权利要求2所述的真空动密封精确传动机构，其特征在于，所述第一波纹管固定座与真空腔体之间、所述第二波纹管固定座与动密封组件固定座之间均设有密封圈。

4.如权利要求1所述的真空动密封精确传动机构，其特征在于，所述通孔与所述齿轮轴之间设有轴承。

5.如权利要求1所述的真空动密封精确传动机构，其特征在于，所述感应片呈圆盘结构，所述感应片上开设有两所述通槽，两所述通槽位于所述感应片的同一直径方向上。