[实用新型]一种去除模板保护膜层的装置无效
| 申请号： | 201020190744.1 | 申请日： | 2010-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN201738024U | 公开（公告）日： | 2011-02-09 |
| 发明（设计）人： | 张鑫炜;黄辉煌 | 申请（专利权）人： | 允昌科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | C25D1/00 | 分类号： | C25D1/00;C25D1/10 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 215011 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 去除 模板 保护膜 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种去除模板保护膜层的装置，其特征在于：包括除膜清洗槽(1)，所述除膜清洗槽(1)设有泄水口(2)，除膜清洗槽(1)底面设有电磁吸附层(3)，除膜清洗槽(1)上面设有压紧网(4)，所述压紧网(4)与除膜清洗槽(1)通过旋转平移装置(5)连接。
2.根据权利要求1所述的一种去除模板保护膜层的装置，其特征在于：所述压紧网(4)的形状和大小与除膜清洗槽(1)的形状和大小相适配。
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