[实用新型]镀膜设备用的门阀传动结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及连续溅射镀膜设备中真空室之间隔断用的门阀装置，尤其是该门阀的传动结构。

背景技术

目前的PVD(物理气相沉积)技术，即在真空中对靶材进行蒸发、溅射，使靶材(陶瓷、合金等)上的分子附着并沉积在沉底(玻璃、有机物、金属等其他相关材料)上的方法，需要在本底真空度达到高真空(10-1～10-6Pa)的条件下进行，这就要求连续式镀膜设备的各部分设计必需有良好的密闭性，而镀膜设备中的活动部分恰是薄弱环节。门阀的传动不稳定会直接影响到腔体真空度的保持，从而影响正常工业生产。

现有的门阀传动采用气缸拨叉传动，基本可满足目前低端产品的要求，但其旋转角度误差大，传动不精确，使得密封效果差。随着对产品质量要求的不断提高和对高端产品的研发，对真空度的要求也随之增长。现有的门阀传动系统的密封效果已经很难为后续生产服务，为达到较高的真空度和真空稳定性只能增加真空泵的数量，使得成本提高。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型旨在提供一种传动更精确并能有效增强密封效果的门阀传动结构。

为实现该技术目的，本实用新型的方案是：一种镀膜设备用的门阀传动结构，包括提供动力的气缸、安装于支架上的门板组件，该组件由压块、肘节、门阀压座和门阀板传动连接组成，所述气缸通过齿条齿轮传动结构连接至主轴，该主轴传动连接压块，带动门板组件动作。

所述齿条齿轮传动结构包括固定连接在气缸活动端上的齿条，通过联轴器固定在主轴上的齿轮，所述齿条和齿轮传动啮合。

本结构的有益效果是：传动方法简单实用，传动效能高，控制精确。结构紧凑，传动灵活，门阀转动无死角，门阀能紧密贴合真空室，密封效果非常理想。因为采用齿条齿轮传动非常灵活精密，因而各部件拆卸十分简单，方便维护和更换各种部件。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步详细说明。

如图1所示，本实用新型的一种镀膜设备用的门阀传动结构，包括提供动力的气缸1、安装于支架2上的门板组件6，该组件由压块、肘节、门阀压座和门阀板传动连接组成，所述气缸1通过齿条齿轮传动结构连接至主轴5，该主轴传动连接压块，带动门板组件2动作。所述齿条齿轮传动结构包括固定连接在气缸活动端上的齿条3，通过联轴器固定在主轴5上的齿轮4，所述齿条3和齿轮4传动啮合。

在工作时，利用气缸传动至齿条-齿轮-联轴器-主轴-压块-肘节-门阀压座最后带动门阀板压紧真空腔体。

本齿条齿轮传动结构保证了传动的精确性，提高真空密封效果。齿条齿轮采用304的不锈钢材料变形量小，使用灵活部件紧凑精密，各部件结构合理，使用的动力小。提高了连续镀膜设备的真空度，为提高产品质量、生产高端产品提供了保障并节约了成本。

以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何细微修改、等同替换和改进，均应包含在本实用新型技术方案的保护范围之内。