[实用新型]特殊气体泄漏保护装置有效
| 申请号： | 201020201076.8 | 申请日： | 2010-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN201796258U | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | 付晓明;高辉;余鹤鹏;李凯;姚念 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/048 | 分类号： | G05B19/048 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 特殊 气体 泄漏 保护装置 | ||
1.一种特殊气体泄露保护装置，其特征在于，包括密封腔体和用于抽排所述密封腔体内气体的排放管路，所述特殊气体容置于钢瓶内，所述钢瓶的输出口与输出管的输入口连接，所述钢瓶和输出管的连接处设置于所述密封腔体内部，所述密封腔体设有排放口，所述排放管路的输入口与所述密封腔体的排放口密封固定连接。
2.如权利要求1所述的特殊气体泄露保护装置，其特征在于，所述排放管路与真空抽吸器连接。
3.如权利要求1所述的特殊气体泄露保护装置，其特征在于，所述排放管路与处于负压状态的总排放管路连接。
4.如权利要求1所述的特殊气体泄露保护装置，其特征在于，所述特殊气体泄露保护装置还包括气体处理装置，所述气体处理装置的输入口与所述排放管路的输出口密封固定连接。
5.如权利要求1所述的特殊气体泄露保护装置，其特征在于，所述排放管路内设置有气体探测器，所述气体探测器直接与报警器连接。
6.如权利要求1所述的特殊气体泄露保护装置，其特征在于，所述排放管路内设有气体探测器，所述气体探测器与监视器连接。
7.如权利要求6所述的特殊气体泄露保护装置，其特征在于，所述监视器与自动语音广播单元连接。
8.如权利要求5或6所述的特殊气体泄露保护装置，其特征在于，所述气体探测器采用电化学传感器。
9.如权利要求1所述的特殊气体泄露保护装置，其特征在于，所述密封腔体设有第一接口孔和第二接口孔，所述钢瓶的瓶颈密封穿套于所述第一接口孔内，所述输出管密封穿套于所述第二接口孔内。
10.如权利要求1所述的特殊气体泄露保护装置，其特征在于，所述密封腔体分成左腔体和右腔体，所述左腔体和右腔体相互铰接，所述左腔体和右腔体相互接触的表面上设有密封垫圈，所述左腔体和右腔体的相互接触处除铰接部位外其他部位通过卡扣连接。
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